[发明专利]聚合物和硬掩模组合物以及形成图案的方法有效
申请号: | 201911356022.0 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN111378084B | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 朴昭姸;金永珉;兪龙植 | 申请(专利权)人: | 三星SDI株式会社 |
主分类号: | C08G12/26 | 分类号: | C08G12/26;G03F7/004;G03F7/00;G03F7/11 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨贝贝;臧建明 |
地址: | 韩国京畿道龙仁*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种聚合物、一种包含聚合物的硬掩模组合物以及一种使用硬掩模组合物来形成图案的方法,聚合物包含通过反应混合物的反应获得的结构单元,反应混合物包含:经取代或未经取代的吲哚或其衍生物;在末端处具有经取代或未经取代的C3到C20支链烷基的第一芳香族醛化合物;以及与第一芳香族醛化合物不同的第二芳香族醛化合物。 | ||
搜索关键词: | 聚合物 模组 以及 形成 图案 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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