[发明专利]一种多通道真空极紫外-软X射线单色仪在审
| 申请号： | 201911280754.6 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN110865094A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 杨祖华;曹磊峰;范全平;巫殷忠;王静;张强强;王少义;陈勇;魏来;周维民 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N23/2273 | 分类号： | G01N23/2273;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王立普 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多通道真空极紫外‑软X射线单色仪，包括真空腔、调节平台、CCD探测器和波带片调节台，真空腔设置于调节平台上，调节平台能够在三维空间内移动；真空腔内设置有波带片调节台，波带片调节台上设置有椭圆反射式波带片样品，波带片调节台能够带动椭圆反射式波带片样品升降和转动；真空腔上设置有光源进口和光源出口，光源进口用于与光源连接，光源出口与CCD探测器密封连接。本发明结构紧凑、装调便易、高效率、成本低，对X射线光谱分析过程中瞄准、波长定标简单易操作，并可初步解决波长定标问题；利用实验室小型微波光源的特征光源，在真空腔的真空条件下达到波长完全定标的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 真空 紫外 射线 单色仪 | ||
【主权项】：
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- 2020-05-15 - 2023-03-31 - G01N23/2273
- 本发明涉及一种基于XPS的烟丝加香均匀性检测方法，属于烟丝检测技术领域。该检测方法包括未加香烟丝的XPS分析、加香后样品的XPS分析、数据处理、数据计算、加香均匀性判定五大步骤。本发明方法不用采用外加特征标记物或选择特定成分作为特征标记物进行分析，简单可行。与其他气相色谱‑质谱分析均匀性方法比较，其检测时间只需要3‑5min左右，优于一般的气相色谱‑质谱分析的40‑50min，检测效率提高了近10倍，易于推广应用。
- 一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪-202110659615.5
- 翁祖谦;刘星;刘鹏 - 上海科技大学
- 2021-06-15 - 2023-03-21 - G01N23/2273
- 本发明公开了一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪，其特征在于：包括真空腔体、四轴调节架、快速切换腔、制冷系统、探测机构和弯晶；所述四轴调节架包括调节机构和工作杆，所述工作杆通过真空腔体上的接口伸入真空腔体，所述弯晶设在工作杆的末端，通过所述调节机构调节弯晶在真空腔体内的方位，使得弯晶的中心与入射光接口和出射光接口位于同一条直线上；所述快速切换腔与真空腔体真空连接用于更换弯晶；所述探测机构设在真空腔体的外部，通过真空腔体上的探测窗口对X射线进行探测。本发明通过高性能晶体分光、高精度晶体四轴调节和快速在线晶体切换，实现了单脉冲X射线光子的能量分布和入射强度的实时观测。
- 一种晶圆表面量测设备、检测方法及应用-202211656214.5
- 董红;罗锋;冯泽 - 南开大学
- 2022-12-22 - 2023-03-14 - G01N23/2273
- 本发明属于XPS设备技术领域，公开了一种晶圆表面量测设备、检测方法及应用，包括：X射线源；环形能量分析器模块数据处理模块；实时监测模块；快速进样模块；传输模块；真空模块；加热模块；样品台模块。本发明通过提高光电子的收集立体角，大幅增加通过环形能量分析器的光电子的数量，可大幅提升设备对光电子信号的收集效率，避免多次重复扫描带来的时间消耗；可同时进行不同光谱、能谱分析、微区扫描，极大减少了检样时的步骤及时耗。本发明通过XPS检测通量的颠覆性提高，其可实现与光学方法接近量测速度，从而可以实现多重技术同步量测，大幅提高晶圆检测或量测的效率；极大提升了光电子的收集效率，可大幅缩减单个样品的检测时间。
- 鉴定复合硅橡胶绝缘子表面老化程度的方法-202211161894.3
- 刘威;李晓光;张小军;雷泽阳;吴苏州;马建功;庄文兵;李金良;刘磊;郑子梁 - 国网新疆电力有限公司电力科学研究院;国家电网有限公司
- 2022-09-23 - 2023-03-07 - G01N23/2273
- 本发明涉及硅橡胶绝缘子技术领域，是一种鉴定复合硅橡胶绝缘子表面老化程度的方法，该方法按下述步骤进行：S1，在复合硅橡胶绝缘子伞裙上取部分测试样品；S2，对测试样品进行XPS测试，经XPS测试得到测试样品表面C、O、Si、Al相对原子含量，并分析各元素的相对含量比例；S3，根据分析得到的测试样品表面C、O、Si三种元素的相对原子含量比C:Si:O以及Al元素的相对原子含量Abu‑Al对复合硅橡胶绝缘子的老化程度进行评价。本发明采用XPS测试实现半定量地对复合绝缘子硅橡胶表面老化情况进行分析鉴定，具有操作简单、可控性强、快速准确的特点，可用于直接判断绝缘子表面的老化情况。
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