[发明专利]微通道板通道内抛光方法有效

专利信息
申请号: 201911282170.2 申请日: 2019-12-13
公开(公告)号: CN111029230B 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 李江;陈平香;栗重浩 申请(专利权)人: 山西长城微光器材股份有限公司
主分类号: H01J9/02 分类号: H01J9/02;H01J43/24;C03C15/02
代理公司: 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 代理人: 朱源
地址: 030000 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明公开了一种微通道板通道内抛光方法,涉及电子倍增器微通道板的制造优化领域,针对采用传统工艺已经制造好的微孔阵列玻璃坯件,首先采用硝酸氢氟酸混合液进行超声波振动,再更换新的硝酸氢氟酸混合液磁力搅拌器中搅拌一定时间,采用纯水进行多次换水清洗;其次在氢氟酸+硫酸混液中也采用磁力搅拌器中搅拌一定时间,再采用纯水进行多次换水清洗;然后氢氟酸+硫酸+氟化铵混液中,在磁力搅拌器中搅拌,再采用纯水进行多次换水清洗;最后采用乙醇溶液清洗并放入真空烘箱中烧烤一定时间后,达到对微通道进行内抛光,本发明所提供的内抛光方法,满足ALD工艺对通道壁粗糙度要求的目的,该工艺避免了传统酸腐蚀对通道壁产生破损,造成发射点的问题。
搜索关键词: 通道 抛光 方法
【主权项】:
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