[发明专利]垂直腔面发射激光器的结构及制造方法有效
| 申请号： | 201911268085.0 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111029901B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 沈志强 | 申请（专利权）人： | 深圳博升光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种垂直腔面发射激光器的结构及制造方法，其中方法包括：分别形成第一反射器层、氧化层、发光层及第二反射器层，发光层具有至少一个发光区域；于各发光区域的正上方形成圆形电隔离保护区，对电隔离保护区外的区域进行质子或离子隔离注入以形成电隔离区域，电隔离区域至少覆盖所述发光区域外侧的氧化层。上述方案，电隔离区域的覆盖区域对电流的流经路径进行局限，使得一个发光区域的正、负电极、施加电压后，电流经该电隔离区域所环绕的非绝缘区域，而不会流经到电隔离区域之外，提高了激光器的可靠性。同时，各发光区所流经的电流均匀，使得各发光区的亮度一致性高，提高了垂直腔面发射激光器的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
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