[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法在审
| 申请号： | 201911215979.3 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110958548A | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 闻永祥;孙福河;刘琛;金文超;孙文良 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风及其制造方法。所述方法包括：在衬底上依次形成第一隔离层、膜片和第二隔离层；在第二隔离层上依次形成第一保护层、背极板电极和第二保护层；形成贯穿第一保护层、背极板电极和第二保护层的释放孔；形成贯穿衬底的声腔；经由声腔和释放孔释放膜片；以及在第一隔离层上形成凹槽，膜片共形地覆盖在第一隔离层的表面上在凹槽的位置处形成弹簧结构。本发明在释放膜片的蚀刻步骤中采用第一保护层和第二保护层保护背极板电极，使得在释放膜片时背极板电极不被腐蚀，提高了器件的性能和可靠性。并且通过在膜片上形成弹簧结构有效地释放了膜片的应力，提高了MEMS麦克风的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰微电子股份有限公司，未经杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰微电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911215979.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：机械手夹具和机器人
- 下一篇：一种静压供气箱及热风机
