[发明专利]用于ARC镀膜生产线的基片翻面设备

说明书

本发明提供了用于ARC镀膜生产线的基片翻面设备，包括基片架、旋转底板、基片架底座、固定座和旋转电机，固定座固定在所述镀膜生产线的箱体内，旋转电机安装在固定座上，基片架位于旋转底板上，旋转电机连接并驱动旋转底板和基片架转动。本发明旋转底板和基片架底座同步旋转，带动基片架同步转动，实现基片架翻面的同时旋转平稳；基片架上设有多个基片区，可放置多个基片，充分利用基片架的位置。

技术领域

本发明涉及镀膜生产技术领域，具体为用于ARC镀膜生产线的基片翻面设备。

背景技术

真空镀膜是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。ARC(减反射)镀膜需要提高待镀膜基片的减反射性能，因此常常需要对待镀膜的基片进行双面镀膜，而待镀膜的基片安装在基片架上，一次只能对基片的一面进行镀膜，如此便会使镀膜生产线的长度较长。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供用于ARC镀膜生产线的基片翻面设备，旋转底板和基片架底座同步旋转，带动基片架同步转动，实现基片架翻面的同时旋转平稳；基片架上设有多个基片区，可放置多个基片，充分利用基片架的位置。

为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：

用于ARC镀膜生产线的基片翻面设备，其特征在于，包括基片架、旋转底板、基片架底座、固定座和旋转电机，固定座固定在所述镀膜生产线的箱体内，旋转电机安装在固定座上，基片架位于旋转底板上，旋转电机连接并驱动旋转底板和基片架转动。

作为上述技术方案的进一步改进为：

旋转电机的电机轴垂直于水平面，旋转底板为一矩形平板，旋转底板的中部套接在旋转电机的电机轴的外部，旋转底板和固定座之间设有轴承，旋转底板和水平面平行。

轴承的一个端面接触旋转底板、另一个端面接触固定座，轴承的端面和水平面平行，旋转底板和旋转电机的电机轴之间设有轴承，旋转电机的电机轴穿过轴承的内圈，旋转底板的中心套接在轴承的外圈外部。

基片架底座位于旋转底板上，基片架底座长方体形，旋转电机的电机轴驱动端共运动的连接基片架底座的中部，基片架底座的两端通过插销可拆卸连接在旋转底板上。

基片架底座上部设有滑槽，基片架底端滑设在所述滑槽内。

基片架底座底部的两个各设有一个限位座，限位座一端铰接在基片架底座上，另一端可拆卸的连接在基片架底座上。

基片架包括框架和基片区，框架围设在基片区周围，片区包括多个基片区A和多个基片区B，基片区A和基片区B装载不同型号的待镀膜基片。

一个基片区包括四个基片区A和三个基片区B，三个基片区B位于四个基片区A的下方，四个基片区A呈两排两列均匀布置，三个基片区B呈一行均匀布置。

基片区A上包括多个基片位，每个基片位装载一个待镀膜的基片，每个基片区B装载一个待镀膜的另一种基片，基片区B的面积大于基片位的面积，

所述翻面设备还包括盖板和卡扣，盖板盖合在基片区A上，卡扣扣在盖板上，将盖板压紧。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：旋转底板和基片架底座同步旋转，带动基片架同步转动，实现基片架翻面的同时旋转平稳；基片架上设有多个基片区，可放置多个基片，充分利用基片架的位置。

附图说明

图1为本发明一个实施例的结构示意图；

图2为本发明一个实施例的基片区A的结构示意图。

具体实施方式