[发明专利]一种AlTiN/AlTiSiN多层纳米复合涂层的制备工艺在审
| 申请号： | 201910993165.6 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN110578122A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 王铁钢;侯翔;刘艳梅;阎兵;曹凤婷;朱强 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AlTiN/AlTiSiN多层纳米复合涂层的制备工艺，属于复合涂层制备技术领域。该工艺采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积AlTiN/AlTiSiN多层纳米复合涂层。靶材选取金属Ti靶、AlTi靶、AlTiSi靶。镀膜前先通入氩气，辉光清洗20分钟，随后开启Ti靶依次改变偏压‑800V、‑600V、‑400V、‑200V对基体表面各轰击清洗2min，然后沉积TiN过渡层，最后通入氮气作为反应气体，按照设定好的调制周期交替开启AlTi靶和AlTiSi靶，开始沉积AlTiN/AlTiSiN涂层。本发明涉及的多层纳米复合涂层制备工艺简单，并且容易工业化生产。制备出的涂层组织结构致密、涂层与基体间的结合力强，具有较高的硬度和强度，良好的耐磨损性能。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米复合涂层 多层 沉积 制备工艺 清洗 氮气 致密 电弧离子镀膜 涂层组织结构 制备技术领域 耐磨损性能 氩气 调制周期 反应气体 复合涂层 基体表面 交替开启 过渡层 结合力 靶材 镀膜 辉光 轰击 制备 金属 | ||
【主权项】：
1.一种AlTiN/AlTiSiN多层纳米复合涂层的制备工艺，其特征在于：该工艺是采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积AlTiN/AlTiSiN多层纳米复合涂层，靶材选择纯金属Ti靶、AlTi合金靶和AlTiSi合金靶；沉积AlTiN/AlTiSiN多层纳米复合涂层时，先开启Ti靶，然后交替开启AlTi靶和AlTiSi靶沉积相应的AlTiN层和AlTiSiN层，并控制沉积AlTiN层和AlTiSiN层时的沉积压强、通入气体的流量以及各个靶的弧流参数，从而在基体上制备出AlTiN层和AlTiSiN层相互交替叠加的AlTiN/AlTiSiN多层纳米复合涂层。/n
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