[发明专利]一种超快激光直写制备光栅的装置及方法在审
| 申请号： | 201910945189.4 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110727042A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 任云鹏;葛亮;任旭东;倪剑;范永胜;陈其杰 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超快激光直写制备光栅的装置及方法，涉及激光加工光栅领域，激光器发出的激光束经扩束系统扩束后经聚焦系统进行聚集后辐照在工件上；激光束先经凹透镜发散后再经凸透镜将光束变成平行光束；所述聚焦透镜包括数个聚焦透镜；该方法包括通过使用平凹镜和平凸镜，对激光束进行扩束，扩束后的平行激光在通过聚焦系统时，聚焦系统包括多个聚焦透镜，激光被分别聚焦，形成多个焦点；根据多个聚焦透镜的焦距相同与不同，分为两种。一种是焦距相同，焦点在同一水平线上，可以直写简单周期光栅；另一种是焦距不同，焦点不在同一水平线上，可以直写复杂周期光栅。本发明克服了多光束激光干涉不易制备微米级光栅和单光束直写效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦透镜 直写 光栅 聚焦系统 焦距 激光束 扩束 同一水平线 周期光栅 制备 焦点 凸透镜 多光束激光 辐照 超快激光 激光加工 扩束系统 平行光束 平行激光 激光器 凹透镜 单光束 平凹镜 微米级 发散 凸镜 激光 聚焦 干涉 | ||
【主权项】：
1.一种超快激光直写制备光栅的装置，其特征在于，包括激光系统、扩束系统(8)和聚焦系统(9)；所述激光系统发出的激光束经扩束系统(8)扩束后经聚焦系统(9)进行聚集后辐照在工件(10)上；所述扩束系统(8)包括凹透镜(13)和凸透镜(14)，激光束先经凹透镜(13)发散后再经凸透镜(14)将光束变成平行光束；所述聚焦系统(9)包括数个聚焦透镜；所述工件(10)可实现XYZ方向的移动。/n
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- 本发明涉及一种微米LED显示模组的多阶光栅膜的制造方法和显示模组，所述方法包括：确定显示模组中每个发光体的平面的尺寸；所述发光体为梯形台体，平面包括上出光面和下结构面；所述上出光面的尺寸小于所述下结构面的尺寸；准备梯台光栅膜片，所述梯台光栅膜片的厚度与所述发光体的厚度相同；在所述梯台光栅膜片上制作光栅形成一阶光栅膜；所述光栅的下口径尺寸与所述上出光面的尺寸相同，所述光栅的上口径的尺寸与所述下结构面的尺寸相同；将多个所述一阶光栅膜进行对位，并依次真空贴叠，形成所述多阶光栅膜。
- 一种多光谱、大带宽光子筛-201810476042.0
- 王钦华;李运祥;许峰;曲宏;赵效楠;王川 - 苏州大学
- 2018-05-17 - 2019-11-26 - G02B5/18
- 本发明公开了一种多光谱、大带宽光子筛，光子筛上设有环带状分布的通光小孔，所述通过小孔的位置分布满足：
，其中 为设计焦距，m为通光环带的环带序号，P为谐衍射参数（P为大于1的整数），α为三次位相编码系数， 为波数，λ0为设计波长，R为光子筛的半径， 和 是第m环上第n个小孔的位置， 。本发明提出了新的多光谱、大带宽光子筛，使得光子筛可有效工作在可见光范围内的4个波段，使得单片光子筛实现多光谱、大带宽消色差成像。
- 一种衍射光栅的无损切割方法-201910679709.1
- 于宏柱;唐玉国;李文昊;张善文;于海利;糜小涛;齐向东;巴音贺希格 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 2019-07-26 - 2019-11-22 - G02B5/18
- 本申请涉及衍射光栅制作的技术领域，具体公开一种衍射光栅的无损切割方法，包括S1，在衍射光栅表面滴涂融化的石蜡；S2，将保护玻璃粘接在石蜡上；S3，石蜡固化后，将衍射光栅和保护玻璃固定在切割机上，保护玻璃朝向刀具；S4，切割衍射光栅和保护玻璃；S5，将切割好的衍射光栅和保护玻璃放入能够溶解石蜡的有机溶剂中浸泡，石蜡溶解后，取出衍射光栅。本发明提供的衍射光栅的无损切割方法，工艺简单，材料易得、低毒，成本低廉，在切割过程中，能有效保护光栅表面不受损伤，实现高效、高质量的衍射光栅的制作。
- 一种平面双闪耀光栅的制备方法-201711434100.5
- 糜小涛;丛敏;于宏柱;李文昊;张善文;杨国军;齐向东;巴音贺希格;唐玉国 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 2017-12-26 - 2019-11-15 - G02B5/18
- 本发明实施例提供了一种制作平面双闪耀光栅的方法，制作具有第一闪耀角的第一平面闪耀光栅以及具有第二闪耀角的第二平面闪耀光栅，通过第一闪耀角和第二闪耀角的两块平面闪耀光栅的拼接和复制，来实现平面双闪耀光栅的制作，制作方法光栅效率高、波前质量好，制作的双闪耀光栅成品率高、易于实现，该平面双闪耀光栅制作方法具有很强的灵活性，不受光栅闪耀角、光栅面积等因素的限制，所制作出的双闪耀光栅摆脱了调整机构的束缚，在存储过程中光栅的位置和姿态不会再发生变化，在使用过程中也更加灵活和方便。
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