[发明专利]一种化学晶片的清洗设备及其清洗方法在审
| 申请号： | 201910827407.4 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN110743852A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 周志豪;吴丽琼;陈启福;刘建飞 | 申请（专利权）人： | 福建晶安光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 11310 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 奚益民 |
| 地址： | 362411 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学晶片的清洗设备，其结构包括反应部、清洗药剂混合槽和曝气管，反应部内分别通过上隔板、下隔板将其分隔成缓冲腔、载体反应腔和化学循环腔，载体反应腔内置有载体，载体反应腔的侧壁上设有腔体加热器，曝气管设置在下隔板的两侧，曝气管上开设有多个小孔，曝气管内导入有惰性气体，上隔板和下隔板均设有若干个过滤孔，过滤孔内嵌设有滤布，清洗药剂混合槽与缓冲腔之间通过抽取泵相连接，缓冲腔与化学循环腔之间设有循环排放泵、滤罐。采用上述技术方案后，通过在载体反应腔内设有载体和曝气管，即在曝气管和清洁液的作用下，载体能悬浮进而碰撞待洗晶片，能够对高附著性的表面残留污染物质，皆可有效去除，同时降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 曝气管 反应腔 缓冲腔 化学循环 清洗药剂 反应部 过滤孔 混合槽 上隔板 下隔板 加热器 隔板 表面残留 惰性气体 高附著性 化学晶片 清洗设备 污染物质 排放泵 清洁液 侧壁 滤布 滤罐 内嵌 内置 腔体 洗晶 小孔 分隔 去除 抽取 悬浮 | ||
【主权项】：
1.一种化学晶片的清洗设备，其特征在于：其结构包括反应部、清洗药剂混合槽(2)和曝气管(3)，所述反应部内部分别通过上隔板(4)、下隔板(5)将其分隔成缓冲腔(11)、载体反应腔(12)和化学循环腔(13)，所述缓冲腔(11)位于载体反应腔(12)的顶部，所述化学循环腔(13)位于载体反应腔(12)的底部，所述载体反应腔(12)内置有载体，所述载体反应腔(12)的侧壁上固定连接有腔体加热器(12a)，所述下隔板(5)上端面的中部上通过夹具固定有待洗晶片(16)，所述曝气管(3)的数量为2个，且分别固定连接在下隔板(5)上端面的左右两侧上，每一所述曝气管(3)的顶部上开设有等间隔分布的多个小孔，所述曝气管(3)内导入有惰性气体，所述曝气管(3)连接有用于控制气流量的调节阀，所述曝气管(3)能够将载体悬浮进而碰撞待洗晶片(16)，所述上隔板(4)和下隔板(5)上均开设有若干个过滤孔(6)，每一所述过滤孔(6)内均嵌设有滤布(7)，所述清洗药剂混合槽(2)与缓冲腔(11)之间通过抽取泵(8)相连接，所述抽取泵(8)能够将清洗药剂混合槽内的清洁液抽取至缓冲腔(11)中，所述缓冲腔(11)与化学循环腔(13)之间设有循环排放泵(9)、滤罐(10)，所述化学循环腔(13)的一侧面上设置有出流管道(14)，所述出流管道(14)的另一端与循环排放泵(9)相连接，所述缓冲腔(11)的一侧面上设置有进流管道(15)，该进流管道(15)的另一端与滤罐(10)相连接。/n
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- 本实用新型提供了一种晶圆夹盘的清洗装置，包括喷洗管道和喷嘴，所述喷洗管道外部设置有第一加热器，所述喷洗管道中通入含异丙醇的第一混合气体，所述第一混合气体经所述第一加热器加热后由所述喷嘴喷向晶圆夹盘。通过第一加热器加热含异丙醇的第一混合气体喷射晶圆夹盘，对晶圆夹盘进行干燥，缩短了晶圆夹盘的清洗时间，提升了晶圆夹盘表面的干燥效果，避免因干燥不完全在夹持过程中在晶圆上产生水痕缺陷，进而提升了晶圆产品良率。
- 一种清洗机-201920160591.7
- 祝崇武 - 浙江红牌智能电器制造有限公司
- 2019-01-30 - 2020-01-31 - B08B3/08
- 本实用新型提供了一种清洗机，属于零部件清洗领域。它解决了零部件清洗机容易划花零部件表面等问题，一种清洗机，包括机架，机架设置传送装置和清洗装置，清洗装置用于清洗零部件，传送装置用于传输零部件，传送装置包括传送带，传送带上设置有保护层，保护层用于保护零部件表面的镀层不被划花，传送装置连接有驱动装置，驱动装置用于驱动传送装置运行。本实用新型具有保护零部件表面的镀层不被划花等优点。
- 一种汽修工作台-201920619899.3
- 韦一康 - 韦一康
- 2019-04-30 - 2020-01-31 - B08B3/08
- 本实用新型公开了一种汽修工作台，包括操作平台和夹持装置，夹持装置固定连接在操作平台的其中一侧；操作平台包括底座和台板，台板水平固定连接在底座上方；夹持装置包括放置台、液压缸和支架，放置台与操作平台相固定连接，支架固定连接在放置台上方，液压缸竖直设置，液压缸的缸体与支架相固定连接，液压缸的活塞杆朝向放置平台；放置台上表面的高度大于台板上表面的高度，本实用新型优点是，待维修部件可夹持固定在放置台上，便于操作人员对其进行维修操作，可实现一个人独立完成拆解操作，提高工作效率，避免因多人同时操作造成误伤的情况。
- 刀具清洗装置及刀具清洗系统-201810774760.6
- 唐永炳;陈波;杨扬;王陶 - 深圳先进技术研究院
- 2018-07-13 - 2020-01-21 - B08B3/08
- 本发明提供了一种刀具清洗装置及刀具清洗系统，涉及刀具清洗装置技术领域。该刀具清洗装置包括刀架主体，刀架主体由至少两块装夹件依次围设而成，相邻的所述装夹件之间可拆卸连接，至少一块装夹件上开设有若干个刀具固定孔，刀具通过所述刀具固定孔固定在所述刀架主体上，上述设置使得该刀具清洗装置既可用于清洗工序中，又可用于前处理工序，能够对大批量刀具进行清洗和前处理，减少了清洗装置的数量，降低了成本，同时，省去了中途更换刀具清洗装置的步骤，从而可以降低劳动强度，提高清洗效率。本发明还提供了一种刀具清洗系统，包括上述刀具清洗装置，该刀具清洗装置适用于各种刀具的清洗过程，具有广泛的应用前景。
- 一种用于深紫外CaF-201910935258.3
- 邓文渊;金春水;李春;姚舜 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 2019-09-29 - 2020-01-21 - B08B3/08
- 本发明提供的用于深紫外CaF
- 一种用于刀具镀膜前处理的刀体表面清洗装置-201920668705.9
- 魏铁峰;张建坡;李东奎;张帆 - 常州超捷等离子技术有限公司
- 2019-05-10 - 2020-01-21 - B08B3/08
- 本实用新型公开了一种用于刀具镀膜前处理的刀体表面清洗装置，包括浸泡箱、盖板、弹簧、连接杆滑动筒、升降凹槽杆、把手、连接杆、冲洗网片槽、引水管、开关控制阀、圆形喷头、高压喷射枪和圆孔支架。本实用新型的有益效果是：弹簧放置在连接杆滑动筒内，且与连接杆滑动筒呈弹性滑动连接，能够调节冲洗网片槽的高度，使得冲洗网片槽可以进入浸泡箱的清洗液以下，升降凹槽杆在盖板顶面呈对称设置，且与连接杆呈卡槽固定连接，可以固定冲洗网片槽的高度，使得冲洗网片槽可以固定，且不发生上下偏移。
- 一种电沉积锌电极洗涤装置及洗涤方法-201910890778.7
- 关海波;张瑞阁 - 中国电子科技集团公司第十八研究所
- 2019-09-20 - 2020-01-17 - B08B3/08
- 本发明涉及一种电沉积锌电极洗涤装置，包括固定架和夹紧板，固定架包括底板和对称设置的两个定位轴，定位轴底端固定在底板上，夹紧板的两端设有通孔，夹紧板能够串在两个定位轴上，夹紧板包括一个或多个。本发明的有益效果是：使用夹子将锌电极固定在了夹紧板上，避免了清洗过程中由于清洗液的流动、洗涤装置的移动等造成的锌电极的损坏，降低了工艺过程锌电极的损坏率；还可以根据需要将多个夹紧板堆叠在一起，提高了洗涤槽的空间利用率，减少了洗涤槽的所需占用的厂房场地；充分利用了洗涤槽中的清洗液，提高了清洗液的利用率，节省了清洗液的用量。
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