“邱衍荣”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果4个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种PVD镀膜设备-CN202321385160.3有效
发明人：徐尔强;王武鹏;邱衍荣;叶清洪;王小海 -专利权人：福建金石能源有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种PVD镀膜设备，包括入料腔、第一工艺腔、第二工艺腔室和出料腔，所述第一工艺腔和第二工艺腔之间设有隔离腔，所述隔离腔与所述第一工艺腔和第二工艺腔相连的两端分别设有隔离阀；当第一工艺腔或第二工艺腔需要破真空时，可以独立破真空无需所有腔室全部破真空，降低设备维护保养维护时间，提高设备利用率。
一种 pvd 镀膜设备

[实用新型]一种PVD载板清洗机-CN201920017393.5有效
发明人：陈剑雨;黄茂林;邱衍荣;张延任;王树林 -专利权人：福建金石能源有限公司
申请日： 2019-01-07 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种PVD载板清洗机，包括自动清洗设备、程式控制柜和远程终端，所述自动清洗设备包括依次并排设置第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽，所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽上方设置有行车机构和废气抽排系统，所述行车机构连接一次性承装多片载板的多片式花篮，所述加热烘干槽侧面设置有计算机程控及远程系统，所述远程终端通过程式控制柜和计算机程控及远程系统控制自动清洗设备。本实用新型通过计算机程序编辑控制准确完成编程中设定的每道清洗动作及流程，以高度自动化程序取代人员操作，具有稳定清洗产能及清洗质量，避免人员暴露在危险操作中。
浸泡槽酸洗自动清洗设备加热烘干清洗本实用新型计算机程控清水喷淋槽程式控制清水浸泡行车机构远程系统远程终端载板废气抽排系统计算机程序自动化程序编辑控制并排设置人员操作危险操作槽侧面多片式清洗机一次性产能多片编程花篮暴露

[实用新型]一种PVD载板清洗机-CN201721660838.9有效
发明人：陈剑雨;黄茂林;邱衍荣;王树林 -专利权人：福建钧石能源有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种PVD载板清洗机，包括清洗槽、排气装置、行车机构和载板吊篮装置，所述清洗槽包括酸洗槽、水洗槽和高位储酸槽，酸洗槽和水洗槽并排设置，酸洗槽和高位储酸槽通过酸管连通，所述排气装置设置在所述酸洗槽上方，所述排气装置包括抽风罩、排气道、风管，排气道内侧均匀分布有排气孔，所述行车机构横向设置在酸洗槽和水洗槽上方，所述行车机构由电动路轨、移动小车和驱动电机组成，所述载板吊篮装置固定安装在移动小车上，所述载板吊篮装置由电动葫芦和吊篮组成。本实用新型使生产工艺更加合理，每次能够清洗多块载板，提高载板清洗的品质及清洗效率，减低运营成本，实现了人员操作的安全，有效降低溶液的挥发造成的环境污染。
酸洗槽载板吊篮装置排气装置行车机构水洗槽本实用新型移动小车储酸槽排气道清洗槽清洗机清洗并排设置电动葫芦横向设置清洗效率驱动电机人员操作运营成本路轨抽风罩排气孔挥发吊篮多块风管酸管生产工艺连通安全

[实用新型]一种新型半自动载板清洗设备-CN201720606386.X有效
发明人： 邱衍荣;王树林;陈剑雨;郑良结 -专利权人：福建金石能源有限公司
申请日： 2017-05-27 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型半自动载板清洗设备，包括吊装支架、电动葫芦、反应槽、水洗槽、烘干槽，所述吊装支架由两个支撑架和一根横梁组成，横梁上安装有滑动导轨，所述电动葫芦由行走小车和吊钩装置组成，所述反应槽和水洗槽并排设置，所述反应槽和水洗槽顶端均设有防溅回流孔和纯水进水口，侧壁中上部均设有溢流口，反应槽的槽底设有清洗口和排酸水口，水洗槽的槽底设有排水口，所述反应槽顶端还设有排气管道，所述烘干槽一侧设有加热烘干装置，另一侧设有出风口。本实用新型可同时清洗多块载板，满足载板的清洗要求同时减少人工操作时的劳动强度及操作安全隐患，设备操作简单易学，可清洗不同面积、不同厚度的载板，应用范围广泛。
一种新型半自动清洗设备