专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果7个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]卡盘销以及卡盘销自清洗装置-CN201811491409.2有效
  • 刘璞方;高英哲;张文福;李丹;袁林涛 - 德淮半导体有限公司
  • 2018-12-06 - 2021-03-02 - H01L21/687
  • 本发明提供一种卡盘销,包括卡盘销主体;定位销,其固定到所述卡盘销主体的一侧并与所述卡盘销主体偏心布置;以及齿轮,其固定到所述卡盘销主体的另一侧并与所述卡盘销主体同心布置,所述齿轮用于带动所述卡盘销主体以及所述定位销转动;所述卡盘销还包括:注液管路,其延伸穿过所述定位销、所述卡盘销主体以及所述齿轮;以及出液管路,其延伸穿过所述卡盘销主体以及所述齿轮。本发明还提供一种包括所述卡盘销的卡盘销自清洗装置。
  • 卡盘以及清洗装置

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top