[发明专利]一种钢带镀膜系统在审
| 申请号： | 201910826782.7 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN110423990A | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 刘自然;卢威;陈元;郭碧云;何振;缪朴 | 申请（专利权）人： | 肇庆宏旺金属实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州知顺知识产权代理事务所(普通合伙) 44401 | 代理人： | 彭志坚 |
| 地址： | 526238 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种钢带镀膜系统，包括真空镀膜工艺室、导轨机构、以及靶材进出小车；导轨机构设置在真空镀膜工艺室的前方，并与真空镀膜工艺室呈垂直设置，靶材进出小车滑动安装于导轨机构上。靶材进出小车包括车身以及靶材安装机构；车身设有靶材固定部，靶材固定部垂直于车身设置，靶材安装机构安装于靶材固定部。靶材安装机构包括电机、连接法兰盘、以及靶材安装柱；电机安装于靶材固定部，连接法兰盘安装于电机的输出轴，靶材安装柱与连接法兰盘连接，且靶材安装柱开设有固定孔。本发明的钢带镀膜系统能够有效节省人力物力，操作安全系数高，且镀膜致密性好，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 固定部 真空镀膜工艺 连接法兰盘 安装机构 导轨机构 钢带镀膜 安装柱 车身 小车 电机 安全系数 产品良率 垂直设置 电机安装 滑动安装 人力物力 致密性好 固定孔 输出轴 镀膜 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种钢带镀膜系统，其特征在于，包括：真空镀膜工艺室、导轨机构、以及靶材进出小车；所述导轨机构设置在所述真空镀膜工艺室的前方，并与所述真空镀膜工艺室呈垂直设置，所述靶材进出小车滑动安装于所述导轨机构上；所述靶材进出小车包括车身、前轮、后轮、以及靶材安装机构；所述前轮安装于所述车身的底部前端，所述后轮安装于所述车身的底部后端，且所述前轮和所述后轮均位于所述导轨机构上；所述车身设有靶材固定部，所述靶材固定部垂直于所述车身设置，所述靶材安装机构安装于所述靶材固定部；所述靶材安装机构包括电机、连接法兰盘、以及靶材安装柱；所述电机安装于所述靶材固定部，所述连接法兰盘安装于所述电机的输出轴，所述靶材安装柱与所述连接法兰盘连接，且所述靶材安装柱开设有固定孔。
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