[发明专利]一种钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料及其制备方法在审
| 申请号： | 201910680534.6 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110527952A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 王占杰 | 申请（专利权）人： | 沈阳工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/28 |
| 代理公司： | 21001 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张晨<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 110023 辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料及其制备方法，该材料由周期性生长的铁电性氧化物材料钛酸钡和金属导电性氧化物材料镍酸镧所构成。本发明的钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料的优点为：介电常数与纯钛酸钡薄膜相比增加了11～90％；并且具有良好的铁电极化性能，其剩余极化强度达到13.1μC/cm2，饱和极化强度达到34.6μC/cm2，与纯钛酸钡薄膜对比剩余极化强度提高了140％，饱和极化强度提高了58％。该材料的制备方法是利用脉冲激光沉积法在单晶基板上交替生长镍酸镧和钛酸钡，通过控制激光轰击不同靶材的时间，精确地调控超晶格的周期厚度。该铁电超晶格材料在铁电存储器、传感器、致动器等集成铁电器件上具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 镍酸镧 钛酸钡 铁电 超晶格薄膜 氧化物材料 饱和极化 剩余极化 纯钛 酸钡 制备 薄膜 脉冲激光沉积法 集成铁电器件 超晶格材料 金属导电性 铁电存储器 周期性生长 单晶基板 激光轰击 交替生长 介电常数 铁电极化 超晶格 铁电性 致动器 传感器 靶材 调控 应用 | ||
【主权项】：
1.一种钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料，其特征在于：该铁电超晶格薄膜材料包含铁电性材料BaTiO3和金属导电性氧化物材料LaNiO3。/n
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