[发明专利]一种Micro-OLED产品光学检测设备及晶圆片检测方法在审
| 申请号： | 201910595662.0 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110174414A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王世锐;林志阳 | 申请（专利权）人： | 厦门特仪科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种Micro‑OLED产品光学检测设备及晶圆片检测方法。其中，光学检测设备包括检测系统、控制系统和显示系统；检测系统包括过滤器，过滤器与光学检测暗室连接，其内部包括相互连接的分光式光谱仪和CCD；分光式光谱仪与三轴运动模组连接；光学检测暗室的底侧设置有探针台；检测系统与控制系统信号连接，控制系统包括控制柜、电气控制模块、SMU模块、工业电脑和CCD控制模块。本发明首次提供了一种Micro‑OLED产品光学检测设备配合测试方法能够对Micro‑OLED晶圆片进行检测，具有检查分辨率高，测试效力可达到平均3‑4秒/die，设备可靠性和稳定高，在Micro‑OLED产品的光学检测上具有重要的实际应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 光学检测设备 光学检测 检测系统 晶圆片 过滤器 光谱仪 控制系统 暗室 分光 检测 电气控制模块 控制系统信号 半导体检测 设备可靠性 测试 工业电脑 三轴运动 显示系统 控制柜 探针台 分辨率 模组 应用 配合 检查 | ||
【主权项】：
1.一种Micro‑OLED产品光学检测设备，其特征在于：包括检测系统、控制系统和显示系统；所述检测系统包括过滤器，所述过滤器与光学检测暗室连接，所述光学检测暗室四周设置有外框，其内部包括相互连接的分光式光谱仪和CCD图像控制器；所述分光式光谱仪与三轴运动模组连接；所述光学检测暗室的底侧设置有探针台；所述检测系统与所述控制系统信号连接，所述控制系统包括控制柜、电气控制模块、SMU模块、工业电脑和CCD控制模块；所述检测系统与显示系统信号连接。
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- 本实用新型提供了一种光学检测系统，包括用于照射光掩模版的光源、控制器和成像模块，光源的光束穿过光掩模版后由成像模块接受并形成灰度图像，光源包括透射眀场照明和透射暗场照明，控制器与透射眀场照明、透射暗场照明和成像模块电连接，控制器设定透射眀场照明、透射暗场照明的光强关系，使得透射眀场光源的特征和透射暗场光源照射在光掩模版的不同类型的缺陷后，得到检测信号的强度处于成像模块能够检测到的范围内，控制器处理成像模块所检测到的图像信息。本实用新型提供的光学检测系统能够同时检测出相对于检测波长而言的较大缺陷和较小缺陷，准确地反应出来所检测光掩模版的缺陷，防止漏检不合格的光掩模版。
- 激光测距仪调节结构、摄像组件及导电粒子压痕检测设备-201822149499.9
- 郑嘉瑞;董佳驰;万春;李志聪 - 深圳市联得自动化装备股份有限公司
- 2018-12-20 - 2019-10-25 - G01N21/95
- 本实用新型涉及一种激光测距仪调节结构、摄像组件及导电粒子压痕检测设备。该激光测距仪调节结构包括基座、安装板、激光测距仪及若干第一调节件，所述安装板活动安装于所述基座，所述激光测距仪设于所述安装板，所述安装板上开设有若干第一长条孔，若干第一紧固件穿设所述第一长条孔，用于将所述安装板固定于所述基座，所述第一调节件螺纹连接于所述基座并与所述安装板的端面相抵。上述激光测距仪调节结构能够用于调整激光测距仪的角度，使得测量范围中心位于相机镜头的中心线上，有效提高设备安装调试效率。
- 一种燃油管球头外观质量辅助检查装置-201822164313.7
- 李龙;钱志强 - 派克欧哈尔汽车零部件（常熟）有限公司
- 2018-12-21 - 2019-10-25 - G01N21/95
- 本实用新型公开了一种燃油管球头外观质量辅助检查装置，包括两个摄像设备、两个显示器以及辅助治具。其中，辅助治具将球头定位，两个摄像设备分设在燃油管球头的不同侧，并通过两个显示器显示摄像结果，且，显示器显示的球头相对于实际的球头具有放大性。本实用新型采用摄像设备实时采集球头的外观，并将结果放大显示到显示器上，使操作人员能够从显示器上更方便地看到放大后的球头外观，从而能够更容易地发现外观不良件，提高了检查效率，且操作人员不容易视觉疲劳。
- 涡轮释放阀的外观检测装置-201822243281.X
- 张开明 - 太仓克米特自动化设备有限公司
- 2019-09-05 - 2019-10-25 - G01N21/95
- 本实用新型揭露一种涡轮释放阀的外观检测装置，其包括支架、安装于所述支架上的工作台、固定于工作台上的运行机构、安装于运行机构上的翻转机构及安装于支架上的照相机，翻转机构包括一对支撑板，支撑板上具有贯穿其表面的贯穿孔，每个贯穿孔中均收容有转动轴，其中一个转动轴的外端连接有曲轴，曲轴连接推动气缸，该对转动轴的内侧固定有翻转板，该对支撑板与翻转板之间形成收容空间，收容空间内安装有若干个皮带轮，在翻转板另一表面安装有旋转电机，旋转电机与皮带轮通过皮带连接，位于所述皮带轮的同轴上安装有卡持轮。照相机能对涡轮释放阀的各个位置都能拍照，照相机获取的数据更加准确，从而代替手工作业，提供生产效率。
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