[发明专利]一种显示基板及其制作方法、显示装置

摘要

本发明公开一种显示基板及其制作方法、显示装置，涉及显示技术领域，为解决采用LTPO技术制作像素驱动电路时，由于制作低温多晶硅薄膜晶体管引入的氢容易对金属氧化物薄膜晶体管中的有源层产生影响，导致的驱动背板可靠性降低的问题。所述显示基板的制作方法，包括在基底上制作像素驱动电路的步骤，该步骤具体包括：在基底上制作氧化物晶体管的第一有源层；在第一有源层背向基底的一侧制作阻挡层，阻挡层在基底上的正投影覆盖第一有源层在基底上的正投影；在基底上制作低温多晶硅晶体管；在基底上制作氧化物晶体管的第一栅极绝缘层、第一栅极、第一输入电极和第一输出电极。本发明提供的显示基板的制作方法用于制作显示基板。

主权项

1.一种显示基板的制作方法，包括在基底上制作像素驱动电路的步骤，所述像素驱动电路包括氧化物晶体管和低温多晶硅晶体管，其特征在于，该步骤具体包括：在所述基底上制作所述氧化物晶体管的第一有源层；在所述第一有源层背向所述基底的一侧制作阻挡层，所述阻挡层在所述基底上的正投影覆盖所述第一有源层在所述基底上的正投影；在所述基底上制作所述低温多晶硅晶体管；在所述基底上制作所述氧化物晶体管的第一栅极绝缘层、第一栅极、第一输入电极和第一输出电极。