[发明专利]一种全自动一体式单片单面研磨减薄设备在审
| 申请号： | 201910569110.2 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110328606A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 傅林坚;朱亮;曹建伟;周锋;卢嘉彬;谢永旭;刘文涛;赵志鹏 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种全自动一体式单片单面研磨减薄设备。本发明涉及硬脆性材料的研磨抛光技术领域，特别涉及一种全自动单片单面研磨抛光装置。包括SIC陶瓷载盘，贴蜡模块包括加热机构和贴片机构，贴片机构包括密闭腔体，腔体内部设有支撑平台，顶部设有通过贴片加压气缸驱动的压板，腔体底部与真空泵相连；研磨抛光模块包括旋转工作台，旋转工作台上铺设抛光布；旋转工作台上方设有抛头，抛头连接抛头悬臂并通过抛头加压气缸驱动，抛头悬臂与抛头主轴相连，贴蜡模块中央有个旋转机械手。贴蜡模块和研磨抛光模块间设有直线传输机械手。本发明装置可以实现硬脆性材料研磨抛光后的片片一致性，提升硬脆性材料表面平坦度。保证硬脆性材料不研磨抛光的那侧表面不受损伤。大大降低人工成本，缩小设备占地面积。 | ||
| 搜索关键词： | 抛头 研磨抛光 硬脆性材料 单面研磨 单片 旋转工作台 加压气缸 减薄设备 贴片机构 悬臂 表面平坦度 旋转机械手 驱动 加热机构 密闭腔体 模块中央 抛光装置 腔体内部 人工成本 支撑平台 直线传输 机械手 侧表面 抛光布 真空泵 腔体 贴片 压板 载盘 损伤 陶瓷 铺设 保证 | ||
【主权项】：
1.一种全自动一体式单片单面研磨减薄设备，其特征在于，包括SIC陶瓷载盘和通过螺栓相连，集成到一台设备上的贴蜡模块和研磨抛光模块；所述SIC陶瓷载盘其中一个端面上涂覆有均匀的蜡层；所述贴蜡模块包括加热机构和贴片机构，加热机构内置热电偶；所述贴片机构包括密闭腔体，腔体内部设有支撑平台，腔体内顶部设有通过贴片加压气缸驱动的压板，腔体底部与真空泵相连；所述研磨抛光模块包括并排沿线性排列设于贴蜡模块右侧的至少三个研磨抛光机构，每个研磨抛光机构均包括旋转工作台，旋转工作台上铺设抛光布；旋转工作台上方设有抛头，抛头连接抛头悬臂并通过抛头加压气缸驱动，抛头悬臂与抛头主轴相连；所述贴蜡模块中央有个旋转机械手，用于搬运硬脆性材料和SIC陶瓷载盘；贴蜡模块和研磨抛光模块间设有直线传输机械手，用于搬运SIC陶瓷载盘和硬脆性材料。
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- 本实用新型公开了一种楔块研磨机，属于机加工领域。该装置包括用于夹持毛坯的夹具，还包括：底座，其包括底板、设置在底板上的后挡板和设置在后挡板上的横向滑杆；研磨装置，其包括磨具、设置在磨具上的纵向滑杆和连接器；动力装置，其包括第一连杆、第二连杆和电机，第一连杆的一端固定连接在电机的输出端、另一端铰接至第二连杆的一端，第二连杆的另一端铰接至连杆。本实用新型利用电机带动第一连杆转动，第一连杆带动第二连杆转动进而带动连杆实现往复运动，连杆往复运动时，会带动磨具上下往复移动和前后移动的复合运动，从而对楔块的毛坯件形成往复的磨削，整个研磨机结构较为简单，相对于加工中心加工的方式成本较低。
- 一种研磨机-201822213535.3
- 陈李刚;张宇平;曾慧;毛荣昌;朱国强;纪步成 - 衢州晶哲电子材料有限公司
- 2018-12-27 - 2019-08-30 - B24B37/10
- 本实用新型涉及一种研磨机，包括研磨机架和设置在研磨机架上的下研磨台，研磨机架上且位于下研磨台的一侧设置有固定架，固定架顶部设有驱动气缸，驱动气缸输出端连接有驱动杆，驱动杆一端沿竖直方向连接有上研磨台，上研磨台相对设在下研磨台正上方，下研磨台上侧壁上设有研磨槽，研磨槽中转动设有转动台，研磨机架上设有用于驱动转动台转动的驱动组件，转动台上表面沿周向转动设有若干转动座，转动座上设有晶片放置槽；上研磨台上方设有内置下料腔的下料板，下料板上沿周向设有若干导出管，上研磨台上沿周向设有若干通孔，若干导出管一端分别与若干通孔对接。本实用新型提供了一种研磨效率高、研磨效果好且研磨液加入均匀的研磨机。
- 单面加压研磨抛光机压盘装置-201821812908.2
- 张习兵;邹德明 - 无锡市锡斌光电设备有限公司
- 2018-10-27 - 2019-08-23 - B24B37/10
- 本实用新型公开了一种单面加压研磨抛光机压盘装置。所述机架与底座间设置有立柱，所述机架上设置有与工位对应的压盘单元，所述气缸座设置在机架顶部，所述气缸座上设置有气缸，所述气缸活塞杆上套装有导套，所述气缸活塞杆、导套分别与传动连接机构连接，所述传动连接机构与压盘连接，所述导套上套装有导套轮，所述转动电机通过设置在机架上的电机座固定，所述转动电机输出轴上套装有主动电机轮，所述导套轮与主动电机轮间通过V带连接传动。本实用新型通过单面加压研磨抛光机压盘装置可以对每个工位上压盘的转速、压力进行调节，提高了抛光精度。设备操作简单、灵活。
- 一种合成石研磨设备-201822199798.3
- 孟庆松;武赵波;高伟 - 昆山信方达电子有限公司
- 2018-12-26 - 2019-08-23 - B24B37/10
- 本实用新型公开了一种合成石研磨设备，包括研磨座，所述研磨座的底部固定安装在固定底板上，所述固定底板的底部焊机有支撑脚，所述固定底板的顶部位于边侧焊接有支撑柱，所述支撑柱的顶端与支撑顶板的底部相焊接，所述支撑顶板的顶部固定安装有液压缸，所述液压缸的输出端轴动安装有液压杆，所述液压杆的一端与第一支撑板的顶部固定连接，所述第一支撑板的底部焊接有固定杆，所述固定杆的一端与第二支撑板的顶部相焊接。通过在固定套筒中穿过有推杆，通过推动推杆，使得压紧板对合成石进行压紧作用，调节起来比较方便。
- 晶圆平坦化设备-201910555237.9
- 夏俊东;康雷雷;谭金辉;张兆伟;何蓬勃;徐海强 - 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
- 2019-06-25 - 2019-08-16 - B24B37/10
- 本发明是晶圆平坦化设备，其结构包括主机架、研磨盘、研磨头旋转机构、研磨头组件、研磨垫打磨机构、研磨液喷淋机构、晶圆装载卸载平台、晶圆传送中转平台和晶圆传送机构，其中主机架中部设主台面，主台面中部设研磨盘，研磨盘底部连接旋转驱动装置，研磨头旋转机构、晶圆装载卸载平台、晶圆传送中转平台、研磨垫打磨机构和研磨液喷淋机构依次环绕研磨盘设置在主台面侧边上，晶圆装载卸载平台和晶圆传送中转平台外侧主台面侧边上设晶圆传送机构，研磨头旋转机构下端连接研磨头。本发明的优点：简化了结构，减小了体积，降低了生产成本，故障率减小，保证了生产效率，保证晶圆加工质量稳定,适合4、6寸晶元及3～5族类产品平坦化加工。
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