[发明专利]单纳米丝器件的制备方法有效
| 申请号： | 201910329566.1 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN110257892B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 翟广志;赵志龙;高建军;刘文斌;马小虎 | 申请（专利权）人： | 深圳市脑潜能实业发展有限公司 |
| 主分类号： | C25F3/02 | 分类号： | C25F3/02;C23C14/04;C23C14/16;C23C14/35;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 任哲夫 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市罗湖*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种单纳米丝器件的制备方法，包括步骤：将纳米丝束放置于无水乙醇中，得到混有纳米丝束的无水乙醇；超声处理无水乙醇，得到混有散状纳米丝束的乙醇溶液；将该乙醇溶液滴于载体表面；在载体表面覆盖掩模板；对载体覆盖有掩模板的一面进行磁控溅射处理，在载体表面形成金属层；取下掩模板，得到单纳米丝器件。本发明的有益效果在于：通过利用掩模板结合磁控溅射的方法将纳米丝固定得到微/纳米丝器件，避免了复杂的光刻过程，也避免了纳米丝在FIB蒸镀电极过程中受到污染，本微/纳米丝器件的制备方法简便，制成的微/纳米丝器件稳定可靠，可直接应用于相应的气敏测试、光电测试等，极大地方便了对微/纳米丝物理性质的研究工作。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种单纳米丝器件的制备方法，包括：S1、将1质量份的纳米丝束放进至少2质量份的无水乙醇中，得到混有纳米丝束的无水乙醇溶液；S2、超声处理混有纳米丝束的无水乙醇，得到混有散状纳米丝束的乙醇溶液；S3、将混有散状纳米丝束的乙醇溶液滴于载体表面；S4、在载体表面覆盖掩模板；S5、对载体覆盖有掩模板的一面进行磁控溅射处理，在载体表面形成金属层；S6、取下掩模板，得到单纳米丝器件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市脑潜能实业发展有限公司，未经深圳市脑潜能实业发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910329566.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：去污电解液和去污方法
- 下一篇：一种铝箔腐蚀工艺
