[发明专利]用于MEMS的膜组件及其制造方法有效
| 申请号： | 201910153669.7 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN109703157B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 陈海兰;李启友 | 申请（专利权）人： | 络派科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B32B29/00 | 分类号： | B32B29/00;B32B37/06;B32B37/10;B32B37/12;B32B38/00;B32B7/12;B32B3/24 |
| 代理公司： | 北京尚德技研知识产权代理事务所(普通合伙) 11378 | 代理人： | 严勇刚;段泽贤 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于MEMS的膜组件，包括一层透气膜；透气膜包括中间的透气部分以及围绕透气部分的环形安装部分；环形安装部分贴合有一层与其形状一致的环形的热熔胶层和构造层；热熔胶层和构造层的中间对应于透气膜的透气部分形成有透气孔。另外本发明还提供了上述膜组件的制造方法。本发明的上述膜组件，除了利用透气膜本身的特性之外，还利用便于生产、粘接操作的热熔胶层，通过加压加热固化的方式，在连接结构部分形成优异的防尘降噪结构，而且可以通过优化的工艺进行批量化生产，可以大大提高生产效率并降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于MEMS的膜组件的制造方法，包括如下步骤：提供一层第一过渡底纸(100)，在所述第一过渡底纸(100)上通过滚压的方式依次压合一层构造层(3)和一层热熔胶层(2)，然后将所述第一过渡底纸(100)、构造层(3)和热熔胶层(2)通过热压合形成第一模组(10)；对所述第一模组(10)进行模切，通过模切切出位于所述膜组件中间的透气孔(21)，从而形成第二模组(20)；在所述第二模组(20)上通过热压合复合一层透气膜(1)，从而形成第三模组(30)；将所述第一过渡底纸(100)从所述第三模组(30)上去除，从而形成第四模组(40)；对所述第四模组(40)进行冲切，围绕所述透气孔(21)将所述膜组件从所述第四模组(40)上冲切下来落在一层承载基片(4)上。
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