[发明专利]用于MEMS的膜组件及其制造方法

权利要求书

1.一种用于MEMS的膜组件的制造方法，包括如下步骤：

提供一层第一过渡底纸（100），在所述第一过渡底纸（100）上通过滚压的方式依次压合一层构造层（3）和一层热熔胶层（2），然后将所述第一过渡底纸（100）、构造层（3）和热熔胶层（2）通过热压合形成第一模组（10）；

对所述第一模组（10）进行模切，通过模切切出位于所述膜组件中间的透气孔（21），从而形成第二模组（20）；

在所述第二模组（20）上通过热压合复合一层透气膜（1），从而形成第三模组（30）；

将所述第一过渡底纸（100）从所述第三模组（30）上去除，从而形成第四模组（40）；

对所述第四模组（40）进行冲切，围绕所述透气孔（21）将所述膜组件从所述第四模组（40）上冲切下来落在一层承载基片（4）上。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括如下步骤，在对所述第一模组（10）进行模切之前，通过滚压的方式在所述第一模组（10）的外侧复合一层第二过渡底纸（200），模切形成所述透气孔（21）之后，将所述第二过渡底纸（200）从所述第一模组（10）上去除。

3.如权利要求1-2之一所述的方法，其特征在于，通过热压合形成所述第一模组（10）的温度低于热压合复合所述透气膜（1）的温度。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，通过热压合形成所述第一模组（10）的温度低于所述热熔胶层（2）的压烫温度；热压合复合所述透气膜（1）的温度大于等于所述热熔胶层（2）的压烫温度。

5.一种如权利要求1-4之一所述的方法制造的用于MEMS的膜组件，包括一层透气膜（1）；所述透气膜（1）包括中间的透气部分（11）以及围绕所述透气部分（11）的环形安装部分（12）；所述环形安装部分（12）贴合有一层与其形状一致的环形的热熔胶层（2）；所述热熔胶层（2）的另一侧贴合有一层与其形状一致的环形的构造层（3）；所述热熔胶层（2）和构造层（3）的中间对应于所述透气膜（1）的透气部分（11）形成有透气孔（21）。

6.如权利要求5所述的膜组件，其特征在于，多个所述膜组件放置在一层承载基片（4）上，所述膜组件的构造层（3）与所述承载基片（4）相贴合。