[发明专利]沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法在审
| 申请号： | 201910109900.2 | 申请日： | 2019-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN110670022A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 郑基菜;金京汉;朴在穆;朴宰完 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26;C23C14/30 |
| 代理公司： | 11018 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 车玉珠;康泉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法。沉积装置包括：腔室，包括至少一个排气孔；旋转部件，被配置在所述腔室的内部；多个沉积源，在平面上彼此隔开并被配置在所述旋转部件上，各个沉积源包括限定有开口部的主体、连接到所述主体的加热器、通过所述开口部安装到所述主体的收纳容器和填充到所述收纳容器且待形成在基板上的沉积材料；以及电源模块，与包括在所述沉积源中的多个所述加热器分别电连接，在预备区间期间，通过由所述电源模块向所述加热器供应的电源来同时加热所述收纳容器。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 沉积装置 收纳容器 沉积源 电源模块 旋转部件 开口部 腔室 沉积材料 电连接 排气孔 沉积 隔开 基板 配置 加热 填充 电源 预备 | ||
【主权项】：
1.一种沉积方法，包括以下步骤：/n在预备区间期间同时加热多个沉积源，多个所述沉积源被配置在腔室内并且在平面上彼此隔开并被配置在旋转部件上；/n在所述预备区间期间，去除在所述腔室内产生的气体；/n在所述预备区间之后，对所述沉积源中配置于所述旋转部件的加热区域上的第一沉积源进行加热；/n在所述预备区间之后的第一沉积区间期间，将包括在所述第一沉积源中的第一沉积材料蒸发并形成在基板上；/n在所述第一沉积区间中的预热区间期间，对所述沉积源中配置于所述旋转部件的预加热区域上的第二沉积源进行预热；以及/n在所述第一沉积区间之后，使所述旋转部件旋转使得所述第二沉积源与所述加热区域重叠。/n
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