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[发明专利]带电粒子设备的可更换模块-CN202180042316.5在审
发明人： C·奥滕;P-P·克兰斯;M·斯米茨;L·德尔·廷;C·泰武尼森;Y-S·黄;S·W·H·K·斯蒂恩布林克;胡学让;席庆坡;罗希楠;刘学东 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-06-03 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本文所公开的是一种用于支撑被配置为操纵带电粒子设备中的带电粒子路径的装置的模块，该模块包括：被配置为支撑该装置的支撑布置，其中该装置被配置为操纵带电粒子设备内的带电粒子路径；以及被配置为在模块内移动支撑布置的支撑定位系统；其中模块被布置为在带电粒子设备中是现场可更换的。
带电粒子设备更换模块

[发明专利]堆叠对准技术-CN202180024180.5在审
发明人： A·B·斯特罗姆;J·F·C·范古普;J·C·J·德兰根;A·Y-F·阿亚尔;M·M·布鲁伊宁克;C·R·范登贝格;C·奥滕;L·迪努·古特勒;M·斯米茨 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01J37/09 文献下载
摘要：本文公开了一种包括多个衬底的衬底堆叠，其中：衬底堆叠中的每个衬底包括至少一个对准开口组；在每个衬底中的至少一个对准开口组被对准，以用于使光束穿过每个衬底中对应的对准开口；并且每个衬底包括至少一个对准开口，该至少一个对准开口具有比其他衬底中对应的对准开口更小的直径。
堆叠对准技术

[发明专利]孔径体、泛射柱和带电粒子工具-CN202180020078.8在审
发明人： J·范索伊斯特;B·W·H·J·范德克鲁恩;C·泰武尼森;C·奥滕 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01J37/09 文献下载
摘要：本文公开了一种孔径体(500)，用于使沿着包括轴线的束路径传播的带电粒子束的一部分通过，所述孔径体包括：面向上束的表面(510)；腔室部分(511)，包括上束端、下束端和上束板(509)，其中所述上束板从所述上束端径向地向内延伸，并且所述上束板被配置为限定围绕束路径的入口开口(501)；其中：所述面向上束的表面从所述下束端径向地向内延伸；所述面向上束的表面包括孔径部分(504)，所述孔径部分(504)被配置为限定围绕束路径的开口；并且由所述孔径部分限定的所述开口小于所述入口开口。
孔径泛射柱带电粒子工具

[发明专利]馈通设备和信号导体路径装置-CN202210002345.5在审
发明人： J·P·斯普伦格斯;C·奥滕 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01R13/52 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及馈通设备和信号导体路径装置。一种馈通设备(50；150)，用于在具有组宽度的信号导体组(60；160)中的信号导体周围形成气密密封。该设备包括开槽构件(52；152)和基部(62；162)。基部限定通孔(65)，该通孔(65)沿着馈通方向(X)完全延伸穿过基部，并且被适配为容纳开槽构件。开槽构件限定在与馈通方向相关联的相对侧上的第一表面和第二表面(53，54；153，154)、以及面向横向于馈通方向的方向的侧表面。开槽构件包括狭槽，狭槽沿着馈通方向延伸穿过开槽构件，并且沿着侧表面通向第一表面和第二表面并且通向纵向开口(59；159)。狭槽横向延伸到开槽构件中，直到至少等于信号导体组宽度的狭槽深度。
设备信号导体路径装置

[发明专利]馈通设备和信号导体路径装置-CN201780086985.6有效
发明人： J·P·斯普伦格斯;C·奥滕 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： H02G3/22 文献下载
摘要：一种馈通设备(50；150)，用于在具有组宽度的信号导体组(60；160)中的信号导体周围形成气密密封。该设备包括开槽构件(52；152)和基部(62；162)。基部限定通孔(65)，该通孔(65)沿着馈通方向(X)完全延伸穿过基部，并且被适配为容纳开槽构件。开槽构件限定在与馈通方向相关联的相对侧上的第一表面和第二表面(53，54；153，154)、以及面向横向于馈通方向的方向的侧表面(55，56；155，156)。开槽构件包括狭槽(58；158)，狭槽(58；158)沿着馈通方向延伸穿过开槽构件，并且沿着侧表面通向第一表面和第二表面并且通向纵向开口(59；159)。狭槽横向延伸到开槽构件中，直到至少等于信号导体组宽度的狭槽深度。
设备信号导体路径装置