[发明专利]防裂聚硅氧烷介电平坦化组合物、方法和膜在审
| 申请号： | 201880087090.9 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111615542A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 海伦·晓·徐;黄红敏 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C09G1/16 | 分类号： | C09G1/16;C08L83/04;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种用于使半导体器件表面平坦化的组合物，所述组合物包含催化剂、至少一种溶剂以及至少一种聚硅氧烷树脂，所述至少一种聚硅氧烷树脂包含聚倍半硅氧烷嵌段和聚二硅氧烷嵌段。聚二硅氧烷嵌段包括选自以下的至少一种：具有取代或未取代的碳的芳基基团或烷基基团。 | ||
| 搜索关键词： | 防裂聚硅氧烷介电 平坦 组合 方法 | ||
【主权项】：
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- 张媛媛 - 张媛媛
- 2014-10-31 - 2016-06-01 - C09G1/16
- 本发明涉及一种羊皮品用增亮剂，属于化学保护品技术领域。它由以下重量份配比的原料制备而成：聚乙二醇单[2,4,6-三(1-苯基乙基)苯基]醚6-10份，聚(1,4-丁二醇-3-甲基-1,4-丁二醇)醚双(4-氨基苯甲酸酯)12-15份，三乙二醇醚-二(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酸酯8-12份，C12-15-脂肪醇磷酸酯铵盐18-20份，聚(乙二醇)醚丙烯酸苯甲酯4-6份。该羊皮品用增亮剂，对羊皮品无任何腐蚀，去污效果好，同时对于其清洁的羊皮品具有极好的增量效果。
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