[发明专利]转速传感器、用于制造转速传感器的方法有效
| 申请号： | 201880051382.7 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110998233B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | R·拉姆施佩格尔;S·卡尔达诺比莱;M·普特尼克 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5783 | 分类号： | G01C19/5783;B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种具有衬底的转速传感器，其中，所述转速传感器具有关于所述衬底可运动的驱动结构(2)，其中，所述驱动结构(2)借助弹簧组件(10)固定在所述衬底上，其中，所述弹簧组件(10)具有将所述驱动结构(2)与所述衬底连接的第一弹簧部件(20)和将所述驱动结构(2)和所述衬底连接的第二弹簧部件(30)，其中，所述第一弹簧部件(20)和所述第二弹簧部件(30)借助中间件(40)连接，其特征在于，所述中间件(40)具有第一边缘杆(41)和第二边缘杆(42)，其中，在所述第一和第二边缘杆(41、42)之间布置有连接杆组(50)，其中，所述连接杆组(50)的连接杆(51、52、53、54)分别以1°至89°之间的打开角度布置在所述第一和/或第二边缘杆(41、42)上。 | ||
| 搜索关键词： | 转速 传感器 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880051382.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：微机械装置和相应的制造方法
- 下一篇：DNA修复分析及其方法
- 同类专利
- 转速传感器、用于制造转速传感器的方法-201880051382.7
- R·拉姆施佩格尔;S·卡尔达诺比莱;M·普特尼克 - 罗伯特·博世有限公司
- 2018-07-12 - 2023-10-20 - G01C19/5783
- 本发明涉及一种具有衬底的转速传感器，其中，所述转速传感器具有关于所述衬底可运动的驱动结构(2)，其中，所述驱动结构(2)借助弹簧组件(10)固定在所述衬底上，其中，所述弹簧组件(10)具有将所述驱动结构(2)与所述衬底连接的第一弹簧部件(20)和将所述驱动结构(2)和所述衬底连接的第二弹簧部件(30)，其中，所述第一弹簧部件(20)和所述第二弹簧部件(30)借助中间件(40)连接，其特征在于，所述中间件(40)具有第一边缘杆(41)和第二边缘杆(42)，其中，在所述第一和第二边缘杆(41、42)之间布置有连接杆组(50)，其中，所述连接杆组(50)的连接杆(51、52、53、54)分别以1°至89°之间的打开角度布置在所述第一和/或第二边缘杆(41、42)上。
- 多轴惯性力传感器-202180074517.3
- 明石照久;原田翔太;畑良幸 - 株式会社电装
- 2021-10-14 - 2023-07-18 - G01C19/5783
- 多轴惯性力传感器包括安装件(101、159、172)、多个模块(102、103、129、130)及多个传感器(104、105、131、132)。各模块具有相对地确定与接触对象之间的位置的定位部(127)。各模块通过组装成基于定位部相互确定了相对位置的状态及各倾斜面(107、112、133、138)分别朝向不同的方向的状态来构成基座(128)。各传感器通过分别配置在基座的各倾斜面上而使主轴分别朝向不同的方向，且分别检测与主轴对应的惯性力的向量分量。
- 多轴惯性力传感器的制造方法-202180074518.8
- 明石照久;原田翔太 - 株式会社电装
- 2021-10-14 - 2023-06-30 - G01C19/5783
- 在组装成基座(128)之前对分别配置于多个模块(102、103、129、130)上的多个传感器(104、105、131、132)各自的灵敏度进行检查。在检查工序中，准备分别配置有多个传感器的多个模块。通过将多个模块向主轴用托架(212)的多个主轴用槽部(224)嵌入且使多个模块与多个主轴用槽部的主轴用定位面接触，由此将主轴用托架的厚度方向与传感器的主轴平行地配置。通过在转台(231)上设置主轴用托架，由此将转台的旋转中心轴与主轴用托架的厚度方向平行地配置，且将转台的旋转中心轴与多个传感器的主轴平行地配置。通过使转台转动或摆动来对多个传感器的主轴的灵敏度进行检查。
- 导航装置及导航装置的制造方法-202180007663.4
- 向山卓也;冈本一元;田中久纪 - JVC建伍株式会社
- 2021-01-15 - 2022-08-05 - G01C19/5783
- 导航装置(91)包括外壳面板(11)和惯性传感器(31)。外壳面板(11)具有在第一方向上分离并对置的一对侧板(11a)。在一对侧板(11a)上设置有一对固定部(K)。一对固定部K固定于移动体侧固定部件(71)上。惯性传感器(31)设置在由外壳面板(11)包围的内部，并配置在第一方向上夹在一对固定部(K)之间的位置。
- 物理量传感器-201780006198.6
- 三谷朋弘;内田崇;G·雷夫西奥 - 松下知识产权经营株式会社
- 2017-01-12 - 2022-05-10 - G01C19/5783
- 一种物理量传感器(100)包括：检测元件(61)，其包括驱动电极(65,66)以及检测电极(67)；集成电路(IC)(88)，其处理由检测电极(61)提供的输出信号；壳体(70)，其具有开口并容纳检测元件(61)和IC(88)；盖子(89)，其呈长方体形状并且闭塞壳体(70)的开口；电源电极(76)、接地(GND)电极(77)和输出电极(78)，这三种电极设置在壳体(70)的外底表面上；以及金属框架(79)，其设置在壳体(70)的上表面上。盖子(89)接合至金属框架(79)并且包括弯曲部(91)，其在盖子上形成于在俯视图中比仅与盖子(89)的接合至金属框架(79)的边侧中的纵向边对应的接合部(90)更内部位置处并且沿着仅对应于该纵向边的接合部(90)形成。
- 具有偏移锚负载抑制的MEMS传感器-201880077618.4
- M·汤普森;H·乔哈里-加勒;L·巴尔达萨雷;S·尼灿;K·威廉姆斯 - 应美盛股份有限公司
- 2018-08-27 - 2022-05-06 - G01C19/5783
- 一种MEMS传感器包括MEMS层、盖层和基板层。MEMS层包括悬置的弹簧‑质块系统，该悬置的弹簧‑质块系统响应于感测到的惯性力而移动。悬置的弹簧‑质块系统从一个或多个锚悬置。锚通过锚定部件耦合到盖层和基板层中的每一个。锚定部件被偏移，使得施加到盖层或基板层的力引起锚的旋转，并且使得悬置的弹簧‑质块系统基本上保持在原始MEMS层内。
- 用于传感器的应力隔离框架-201880078214.7
- 多鲁克·森卡尔;林阳;霍里·乔哈里-加勒;约瑟夫·西格 - 应美盛公司
- 2018-12-03 - 2020-07-17 - G01C19/5783
- 一种用于降低传感器的封装应力灵敏度的设备，包括：一个或更多个用于附接到基底的锚定点；刚性框架结构，其被配置为至少部分地支撑传感器；和在每个锚定点和刚性框架结构之间的柔顺元件。还公开了一种用于支撑微机电(MEMS)传感器的设备，该设备包括用于附接到基底的四个锚定点；刚性框架结构，其被配置为支撑MEMS传感器；和在每个锚定点和刚性框架结构之间的蟹脚型悬挂元件，其中蟹脚型悬挂元件是柔顺的。还提供了一种用于降低传感器的封装应力灵敏度的方法。
- 转速传感器、用于制造转速传感器的方法-201880051392.0
- R·诺伊;A·拉斯尔;J-T·利韦德;N·博德;M·屈内尔;B·库尔曼;O-A·普吕茨;N·F·库尔曼;P·德根费尔德-舍恩堡 - 罗伯特·博世有限公司
- 2018-07-30 - 2020-04-10 - G01C19/5783
- 本发明要求保护一种转速传感器，该转速传感器具有衬底，其中，所述衬底具有主延伸平面(110、120)，其中，所述转速传感器具有能置于振动中的至少一个第一质量元件和第二质量元件(10、20)，其中，所述衬底的第一主延伸方向(110)从所述第一质量元件(10)指向所述第二质量元件(20)，其中，沿第一主延伸方向(110)在所述第一质量元件和第二质量元件(10、20)之间布置有耦合结构(30)，其特征在于，所述耦合结构(30)的第一耦合区域(31)布置在第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第一质量区域(11)布置在所述第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第二质量区域(12)布置在第二功能层(2)中，其中，所述第一功能层(1)沿垂直于所述主延伸平面(110、120)的延伸方向(200)布置在所述衬底和所述第二功能层(2)之间，其中，第二主延伸方向(120)垂直于所述第一主延伸方向(110)，其中，所述第一耦合区域(31)沿所述第一主延伸方向(110)具有大于沿所述第二主延伸方向(120)的延展尺度。
- 传感器单元、电子设备以及移动体-201580033626.5
- 木下裕介;佐久间正泰 - 精工爱普生株式会社
- 2015-07-13 - 2019-10-25 - G01C19/5783
- 本发明提供一种传感器单元、电子设备以及移动体，所述传感器单元可靠性较高、且即使针对被安装物的振动而检测精度也较为稳定。传感器单元(100)的特征在于，具备：传感器模块(25)，其被构成为包括安装有惯性传感器(17x、17y、17z、18)的基板(15)、和搭载有基板(15)的内壳(20)；外壳(1)，其对传感器模块(25)进行收纳，在内壳(20)上形成有凹部(31)，在从基板(15)的厚度方向进行观察的俯视观察时，在与凹部(31)重叠的区域内配置有惯性传感器(17x、17y、17z、18)，且在由基板(15)以及凹部(31)所形成的空间内填充有填充部件(50)，并且传感器模块(25)经由接合部件(10)而与外壳(1)的底壁(5)接合。
- 具有双重悬置的惯性测量设备-201680045071.0
- Y·福洛普;G·吉布里 - 赛峰电子与防务公司
- 2016-07-26 - 2019-03-22 - G01C19/5783
- 本发明涉及一种惯性测量设备，包括框架、经由第一悬置级被连接到框架的板、包括具有第一特定谐振模式的振动传感器且经由第二悬置级被安装在板上的惯性测量单元；第一级具有低于惯性测量单元的带宽的谐振频率，并且第二级具有高于第一级的谐振频率且低于振动传感器的第一特定模式的谐振频率，第一级包括四个弹性悬置元件且具有基本上匹配由板、第二级和惯性测量单元制成的装配件的重心的刚度中心；第二级包括一至三个弹性悬置元件。
- 角速度传感器及其制造方法-201480007198.4
- 直野崇幸;中野琢磨 - 富士胶片株式会社
- 2014-01-29 - 2017-07-28 - G01C19/5783
- 用薄膜形成技术形成构成隔膜部(12)的1层以上的振动板层(21,22)。设根据角速度传感器(10)的构造体的尺寸及材料的弹性参数计算的共振振动模式的共振频率为f千赫，设重锤部(14)的质量为M毫克，设隔膜部(12)的周长为r米，设压电体层(32)上产生的应力为σp帕斯卡，设膜厚为tp米，设由包括下部电极和振动板层(21,22)的多层构成的振动板部分的从重锤部(14)一侧开始数第n层上产生的应力为σn帕斯卡，设膜厚为tn米时，(n是自然数)，用Teff＝r(σptp+Σσntn)/M表示的Teff满足{(‑0.36f2+210)/33}≤Teff≤{(0.44f2+210)/33}。
- 物理量传感器装置及其制造方法-201280012833.9
- 早川康男;上村秀树;中山一英 - 阿尔卑斯电气株式会社
- 2012-02-14 - 2013-12-11 - G01C19/5783
- 本发明的目的在于提供具有改善了由导电构件、传感器电极及基板电极构成的接合部的密接性的电极结构的物理量传感器装置及其制造方法。通过导电构件(31a)覆盖设于传感器电极(11)的突出的凸部(12)的至少一部分，而将导电构件(31a)牢固地固定于传感器电极(11)，从而改善了所述接合部的密接性。
- 专利分类
