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[发明专利]用于测量转速和/或加速度的惯性传感器-CN201780040524.5有效
发明人： O-A·普吕茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-06-22 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01C19/5733 文献下载
摘要：本发明提出一种惯性传感器，具有衬底和至少两个可从静止位置中偏移的质量，衬底具有主延伸平面，质量与衬底机械耦合，惯性传感器具有用于探测质量沿着第一方向的运动的探测器件，质量通过第一耦合元件、第二耦合元件和第三耦合元件机械耦合，第一耦合元件具有第一主延伸方向，第二耦合元件具有第二主延伸方向，第三耦合元件具有第三主延伸方向，这些主延伸方向在静止位置中平行于主延伸平面布置，耦合元件刚性地构造，每个耦合元件与至少一个另外的耦合元件连接，耦合元件布置成使得在质量从静止位置中偏移时进行第一主延伸方向相对于第二主延伸方向的偏转和第二主延伸方向相对于第三主延伸方向的偏转，耦合元件经衬底附接部位与衬底机械耦合。
用于测量转速加速度惯性传感器

[发明专利]微机械转速传感器组件、转速传感器阵列和相应的制造方法-CN202180015611.1在审
发明人： R·诺伊;A·拉斯尔;B·库尔曼;P·德根费尔德-舍恩堡;N·F·库尔曼;M·屈内尔;O-A·普吕茨;J-T·利韦德;N·博德 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明实现一种微机械转速传感器组件、一种转速传感器阵列和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括：能够通过驱动装置(AT1、AT2)经由驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)围绕第一轴(z)旋转振荡地驱动的第一转速传感器装置(100)，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一、第二和第三轴(z、y、x)相对彼此垂直地布置；和能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)经由所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)沿着所述第二轴(y)线性振荡地驱动的第二转速传感器装置(200)，用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。所述第一转速传感器装置(100)通过所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)与所述第二转速传感器装置(200)连接。所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)具有第一驱动框架(RA1a、RA1b)和第二驱动框架(RA2a、RA2b)，所述第一驱动框架和所述第二驱动框架能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)沿着所述第三轴(x)反相振荡地驱动。摆杆使第一和第二转子装置和第一和第二驱动框架连接。
微机转速传感器组件阵列相应制造方法

[发明专利]用于运行微机械惯性传感器的方法和微机械惯性传感器-CN202210027082.3在审
发明人： R·舍本;E·贝克塔什;O-A·普吕茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于运行微机械惯性传感器的方法以及一种微机械惯性传感器，该微机械惯性传感器尤其构造为加速度传感器。微机械加速度传感器能够具有弹动地受支承的质量体以及柔性的止挡结构和固定结构。固定结构包括固定的电极，并且止挡结构紧固在固定结构上。止挡结构包括作用元件和电极。在质量体从初始位置偏移出时，质量体贴靠到作用元件上。通过将电压施加到固定的电极上，静电力在固定的电极与止挡结构的电极之间起作用，以便使具有作用元件的止挡结构向固定的电极的方向且远离质量体地运动。
用于运行微机惯性传感器方法

[发明专利]微机械转速传感器组件和相应的制造方法-CN201811064369.3有效
发明人： N·博德;A·拉斯尔;B·库尔曼;J-T·利瓦尔德;M·屈内尔;N·F·库尔曼;O-A·普吕茨;P·德根费尔德-舍恩堡;R·努尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G01P3/44 文献下载
摘要：本发明实现一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够通过所述驱动装置经由所述驱动框架装置围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴相对彼此垂直地布置；和能够通过驱动装置经由驱动框架装置沿着第二轴(y)线性振荡地被驱动的第二转速传感器装置，用于感测围绕第一轴(z)的第三外部转速。第一转速传感器装置通过驱动框架装置与第二转速传感器装置连接。驱动框架装置具有第一驱动框架和第二驱动框架，这些驱动框架能够通过驱动装置沿着第三轴(x)反相振荡地被驱动。
微机转速传感器组件相应制造方法

[发明专利]微机械加速传感器-CN202110864025.6在审
发明人： O-A·普吕茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：一种微机械加速传感器100，其包括弹动地悬挂在固定结构105上的振动的质量体115以及带有作用元件125的止挡结构120。所述止挡结构120与固定结构105或者质量体115固定。所述作用元件125具有弯曲的表面135并且在与质量体115或者固定结构105的接触部155中设计为，使得沿着弯曲的表面135实施相对于质量体115或者固定结构105的侧面的滚动运动。
微机加速传感器

[发明专利]微机械弹簧设备和用于制造微机械弹簧设备的方法-CN201680029275.5有效
发明人： H·施佩希特;M·普蒂尼亚诺;H·格鲁茨埃克;O-A·普吕茨;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;J·穆霍 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-04-01 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械设备以及一种相应的制造方法。所述设备构造具有：微机械设备(10)，具有：弹簧装置(16；216；316；416；516)，所述弹簧装置在所述弹簧装置(16)的至少一个附接点(24‑i；124)以能运动的方式能耦接到或者已耦接到框架装置(14)上；其中，所述弹簧装置(16；216；316；416；516)具有至少一个接片(18‑i；218‑i；318‑i；518‑1)，所述至少一个接片从所述至少一个附接点(24‑i；124)开始延伸；并且其中，所述至少一个接片(18‑i；218‑i；318‑i；518‑1)这样结构化，使得所述至少一个接片具有至少一个第一区段(20‑i；220‑i)以及至少一个扩宽区段(22‑i；222‑i；522)用于减小所述弹簧装置(16)的非线性，所述至少一个扩宽区段相对于所述第一区段(20‑i；220‑i)扩宽。
微机弹簧设备用于制造方法

[发明专利]用于运行转速传感器的方法-CN201610891738.0有效
发明人： M·哈塔斯;O-A·普吕茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G01C19/5719 文献下载
摘要：本发明涉及用于运行转速传感器的方法，所述转速传感器具有衬底、相对于衬底可运动的至少一个结构、固定在所述结构上的至少一个第一电极、与衬底固定的至少一个第二电极、与衬底固定的至少一个第三电极、固定在所述结构上的至少一个第四电极、与衬底固定的至少一个第五电极和与衬底固定的至少一个第六电极，其中，所述第一电极至少部分地在第二电极和第三电极之间并且第四电极至少部分地在第五电极和第六电极之间分别在所述结构的静止位置中并且沿着基本上平行于第一轴线的方向布置，其中，在第一方法步骤中，激励所述结构由结构的静止位置振动，所述振动在该振动的至少一个振动周期内的至少一个第一时间区间期间具有基本上平行于一垂直于第一轴线延伸的第二轴线的运动分量。
用于运行转速传感器方法

[发明专利]转速传感器-CN201610808185.8有效
发明人： J·赖因穆特;A·拉斯尔;O-A·普吕茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-07-15 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：本发明涉及转速传感器，其具有：具有主延伸平面的基体；相对于基体可运动的第一结构；相对于基体和相对于第一结构可运动的第二结构，其中，第一结构包括至少一个第一驱动装置，其中，第二结构包括至少一个第二驱动装置，其中，为了通过第一驱动装置和第二驱动装置之间的交互作用使不仅第一结构从第一结构的基本上与驱动方向平行的静止位置中而且第二结构从第二结构的基本上与驱动方向平行的静止位置中共同偏转出来，第一驱动装置和第二驱动装置这样布置，使得第一结构和第二结构能够激励基本上反相的、分别具有基本上与驱动方向平行的运动分量的振动。
转速传感器

[发明专利]具有能直线和旋转地被驱动的传感器装置的三轴微机械转速传感器组件-CN201880057522.1在审
发明人： R·诺伊;A·拉斯尔;B·库尔曼;P·德根费尔德-舍恩堡;O-A·普吕茨;N·F·库尔曼;J-T·利韦德;N·博德;M·屈内尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，以用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴(z、y、x)彼此垂直地布置，并且包括能够通过驱动装置(AT；AT’；AT”)沿着所述第二轴(y)直线振荡地驱动的第二转速传感器装置(200；201；202)，以用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。为了通过所述驱动装置(200；201；202)驱动所述第一转速传感器装置(100)，所述第二转速传感器装置(200；201；202)与所述第一转速传感器装置(100)通过第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接。
具有直线旋转驱动传感器装置微机转速组件

[发明专利]转速传感器、用于制造转速传感器的方法-CN201880051392.0在审
发明人： R·诺伊;A·拉斯尔;J-T·利韦德;N·博德;M·屈内尔;B·库尔曼;O-A·普吕茨;N·F·库尔曼;P·德根费尔德-舍恩堡 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-07-30 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01C19/5783 文献下载
摘要：本发明要求保护一种转速传感器，该转速传感器具有衬底，其中，所述衬底具有主延伸平面(110、120)，其中，所述转速传感器具有能置于振动中的至少一个第一质量元件和第二质量元件(10、20)，其中，所述衬底的第一主延伸方向(110)从所述第一质量元件(10)指向所述第二质量元件(20)，其中，沿第一主延伸方向(110)在所述第一质量元件和第二质量元件(10、20)之间布置有耦合结构(30)，其特征在于，所述耦合结构(30)的第一耦合区域(31)布置在第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第一质量区域(11)布置在所述第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第二质量区域(12)布置在第二功能层(2)中，其中，所述第一功能层(1)沿垂直于所述主延伸平面(110、120)的延伸方向(200)布置在所述衬底和所述第二功能层(2)之间，其中，第二主延伸方向(120)垂直于所述第一主延伸方向(110)，其中，所述第一耦合区域(31)沿所述第一主延伸方向(110)具有大于沿所述第二主延伸方向(120)的延展尺度。
转速传感器用于制造方法

[发明专利]微机械弹簧装置-CN201510789373.6在审
发明人： O-A·普吕茨;H·施佩希特;A·皮格勒尼耶 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-11-17 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： G01D11/18 文献下载
摘要：微机械弹簧装置(100)，具有：-两个基本上相互平行地布置的弹簧腿(10)；和-至少一个止挡元件(10)，所述止挡元件布置用于阻止所述两个弹簧腿(10)相互止挡。
微机弹簧装置

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