[发明专利]激光产生的等离子体源有效
| 申请号： | 201880030698.8 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN110612482B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | G·H·P·M·斯温克尔斯;R·M·霍夫斯特拉;J·H·J·穆尔斯;P·W·克利里;B·P·范德里恩休伊曾 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01S3/23;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于激光产生的等离子体源的种子激光器模块，该种子激光器模块包括：脉冲激光源，被配置为以脉冲重复率发射源辐射脉冲；子系统，被配置为提供电信号；电光调制器，被耦合到子系统，并且被配置为接收源辐射脉冲并且在电信号的控制下发射整形后的辐射脉冲；以及其中电信号包括与源辐射脉冲同相的处于脉冲重复率的选通脉冲、以及在选通脉冲中的连续选通脉冲之间的一个或多个次级脉冲。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 产生 等离子体 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光产生的等离子体源的种子激光器模块，所述种子激光器模块包括：/n脉冲激光源，被配置为以脉冲重复率发射源辐射脉冲；/n子系统，被配置为提供电信号；以及/n电光调制器，被耦合到所述子系统，并且被配置为接收所述源辐射脉冲，并且在所述电信号的控制下发射整形后的辐射脉冲；/n其中所述电信号包括与所述源辐射脉冲同相的处于所述脉冲重复率的选通脉冲、以及在所述选通脉冲中的连续选通脉冲之间的一个或多个次级脉冲。/n
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