[实用新型]校准工装和校准系统有效
| 申请号： | 201822240144.0 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209798090U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 杨永雷;雷绍温;张伟;刘洋 | 申请（专利权）人： | 山西米亚索乐装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 11606 北京华进京联知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 037000 山西省大*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种校准工装，用于校准磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置。校准工装包括工装主体。工装主体包括第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面。第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面两两相互垂直且相交。第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面分别作为校准的参考面。在校准时，可以通过比较磁场扫描设备与第一校准平面、第一校准平面或第三校准平面上不同区域的相对位置是否一致，来判断磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置是否符合要求。同时，在校准过程中，可以明确得到磁场扫描设备安装上不符合要求的具体部位及原因，便于用户做针对性调整，从而避免了盲目调整验证，节省了工作流程，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 磁场扫描 工装主体 安装座 工装 靶材 本实用新型 工作流程 工作效率 设备安装 参考面 相交 垂直 验证 | ||
【主权项】：
1.一种校准工装，用于校准磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置，其特征在于，包括：/n工装主体(100)，所述工装主体(100)包括第一校准平面(110)、第二校准平面(120)以及第三校准平面(130)，所述第一校准平面(110)、所述第二校准平面(120)以及所述第三校准平面(130)两两相互垂直且相交。/n
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