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[实用新型]磁控靶及其靶芯-CN201920257418.9有效
发明人：刘洋;汪振南;雷绍温;杨永雷;见东伟 -专利权人：山西米亚索乐装备科技有限公司
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种磁控靶的靶芯，包括靶基座、第一磁体以及第二磁体。靶基座具有安装面。第一磁体设置于安装面。第一磁体具有第一磁极面。第一磁极面远离安装面设置。第二磁体与第一磁体相邻设置于安装面。第二磁体具有与第一磁极面极性相反的第二磁极面，且第二磁极面远离安装面设置。第二磁极面在远离第一磁体的方向上高度逐渐降低。本实用新型可以使磁场跑道的范围增大，使溅射范围得以增大。同时使得使磁力路径变长，更多的等离子体聚集在靶表面。在相同电场E的作用下，更多的等离子轰击靶材，溅射出更多的沉积物质，使沉积物质更多的沉积附着在正对的基片表面。因此，可以在相同时间，使溅射速率更快，靶材利用率提高。
磁控靶及其

[实用新型]一种衬底材料切割设备-CN201821989575.0有效
发明人：见东伟;汪振南;雷绍温;杨永雷;张伟;邬英;刘洋 -专利权人：领凡新能源科技(北京)有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种衬底材料切割设备，包括安装架和固定安装于所述安装架的底座；所述安装架上设置有上切刀装置，所述上切刀装置与第一驱动件连接；所述上切刀装置在所述第一驱动件的驱动作用下靠近或远离所述底座；所述上切刀装置上还设置有衬底材料夹具；所述衬底材料夹具连接至第二驱动件，并在所述第二驱动件的驱动作用下靠近或远离所述底座；所述衬底材料夹具的下表面设置有展平部件。上述技术方案，通过在衬底材料夹具的下表面设置有展平部件，在衬底材料夹具向底座靠近的过程中，展平部件将卷曲的衬底材料展平，提高了衬底材料的品质。
衬底材料夹具上切刀装置驱动件展平底座安装架下表面驱动切割设备卷曲

[实用新型]校准工装和校准系统-CN201822240144.0有效
发明人：杨永雷;雷绍温;张伟;刘洋 -专利权人：山西米亚索乐装备科技有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种校准工装，用于校准磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置。校准工装包括工装主体。工装主体包括第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面。第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面两两相互垂直且相交。第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面分别作为校准的参考面。在校准时，可以通过比较磁场扫描设备与第一校准平面、第一校准平面或第三校准平面上不同区域的相对位置是否一致，来判断磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置是否符合要求。同时，在校准过程中，可以明确得到磁场扫描设备安装上不符合要求的具体部位及原因，便于用户做针对性调整，从而避免了盲目调整验证，节省了工作流程，提高了工作效率。
校准磁场扫描工装主体安装座工装靶材本实用新型工作流程工作效率设备安装参考面相交垂直验证

[实用新型]一种动密封结构及采用该结构的磁控溅射设备-CN201821156734.9有效
发明人：刘洋;汪振南;雷绍温;杨永雷;见东伟;张伟;邬英;刘福山;韩晓琳 -专利权人：山西米亚索乐装备科技有限公司
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： F16J15/24 文献下载
摘要：一种动密封结构，涉及磁控溅射技术领域。动密封结构用于将磁控溅射旋转靶的旋转法兰(1)和靶芯连接轴(2)之间的空隙密封。动密封结构包括径向密封件(3)和轴向密封圈(4)，径向密封件(3)包括与旋转法兰(1)配合的密封套筒(31)，密封套筒(31)后方设有顶压机构(32)，顶压机构(32)将密封套筒(31)顶压到旋转法兰(1)上，使旋转法兰(1)与密封套筒(31)配构成端面密封结构；轴向密封圈(4)设置在密封套筒(31)与靶芯连接轴(2)之间，将靶芯连接轴(2)与密封套筒(31)之间的空隙密封。本实用新型在适应了磁控溅射旋转靶的旋转运动的应用场景的同时防止了冷却介质(0)的泄漏，密封效果好。
密封套筒动密封结构旋转法兰连接轴靶芯径向密封件轴向密封圈磁控溅射顶压机构空隙密封旋转靶磁控溅射技术磁控溅射设备端面密封结构本实用新型密封效果好冷却介质应用场景顶压泄漏配合

[实用新型]一种离心式分离装置-CN201820969060.8有效
发明人：陈道逵;汪振南;张伟;邬英;杨永雷;雷绍温;见东伟 -专利权人：山西米亚索乐装备科技有限公司
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B07B13/11 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种离心式分离装置包括：离心转盘；离心转盘包括转盘、第一容腔和第一出口；转盘可绕第一旋转轴转动；第一出口位于转盘与第一旋转轴交汇处，且转盘向第一出口凹陷；第一容腔位于转盘下方，转盘通过第一出口与第一容腔连通；离心转盘还具有第一动力输入端。通过动力装置驱动离心转盘按照设定的合适转速旋转，在离心力的作用下，比重小的物料被甩出，比重大的物料从第一出口流入第一容腔，从而实现物料(特别是粮食、塑料颗粒中的比重大杂质如砂石、铁屑等)的分离，具有工作效率高、适应性好等优点，可实现自动化生产。
转盘离心转盘容腔离心式分离装置出口旋转轴动力装置驱动本实用新型动力输入端工作效率高自动化生产合适转速塑料颗粒大杂质交汇处凹陷甩出铁屑连通砂石转动粮食

[实用新型]一种磁控溅射设备-CN201820969086.2有效
发明人：刘洋;汪振南;雷绍温;杨永雷;见东伟;张伟;邬英;刘福山;韩晓琳 -专利权人：山西米亚索乐装备科技有限公司
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射设备，包括：设置在设备的真空腔室(1)内的网状屏蔽板(2)；真空腔室(1)内包括一个或多个镀膜腔(3)，网状屏蔽板设置在镀膜腔(3)内的侧壁上，镀膜腔(3)内的侧壁还设置有防护板(4)，网状屏蔽板(2)设置在防护板(4)外侧。防护板(4)和屏蔽板(3)对磁控溅射靶(5)本身磁场和外部的干扰磁场形成高效电磁屏蔽，有利于磁控溅射靶(5)的平稳运行，同时避免了真空腔室(1)的气体污染，而且安装和拆卸简单而快速。本实用新型为磁溅射设备生产线提供了重要的解决方案和途径。
网状屏蔽真空腔室镀膜腔防护板磁控溅射设备本实用新型磁控溅射靶侧壁干扰磁场高效电磁溅射设备平稳运行气体污染板设置屏蔽板屏蔽拆卸磁场外部

[发明专利]利用传送模块上的单独一个面的交错式双处理室-CN200780101877.8无效
发明人：曾继兵;白银;林芳;雷绍温;哈里·庞内坎蒂;卡尔·布朗 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2007-12-20 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了一种增加基板处理系统的生产量的方法和设备。被配置为附接到群集工具(100)的用于处理基板的处理室(200)具有交错式双处理区域(210，212)。所述处理区域彼此隔离开，以便能够同时在每个区域中处理基板。
利用传送模块单独一个交错处理

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