[实用新型]磁控溅射镀膜装置及磁控溅射镀膜生产线有效
| 申请号： | 201822240112.0 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209798089U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 陈道逵;汪振南;杨永雷 | 申请（专利权）人： | 山西米亚索乐装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 11606 北京华进京联知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 037000 山西省大*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜装置及磁控溅射镀膜生产线，磁控溅射镀膜装置包括第一本体和第二本体。第一本体设有第一腔体。第二本体与第一本体相对设置，靶材安装于第二本体上，第二本体用于密封第一腔体以形成镀膜腔。运输轨道与第一本体连接，第二本体与运输轨道可滑动连接，第二本体能沿运输轨道滑动，第二本体能与第一本体密封连接。该磁控溅射镀膜装置及磁控溅射镀膜生产线的零部件如靶材等的检修和更换较为方便，维护难度小。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射镀膜装置 运输轨道 磁控溅射镀膜 第一腔体 靶材 本实用新型 可滑动连接 密封连接 相对设置 滑动 镀膜腔 密封 检修 零部件 维护 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于，包括：/n第一本体，设有第一腔体；/n第二本体，与所述第一本体相对设置，靶材安装于所述第二本体上，所述第二本体用于密封所述第一腔体以形成镀膜腔；及/n运输轨道，所述运输轨道与所述第一本体连接，所述第二本体能沿所述运输轨道滑动，所述第二本体能与所述第一本体密封连接。/n
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