[实用新型]一种区域表面等离子体增强超薄宽带复合吸收膜

摘要

本实用新型公开了一种区域表面等离子体增强超薄宽带复合吸收膜，由上而下依次为Ag+SiO₂纳米层、SiO₂纳米层、Ag纳米层和Si纳米层，其中，所述Ag+SiO₂纳米层中，Ag纳米颗粒随机嵌入电介质SiO₂纳米膜层中，在电介质SiO₂纳米膜层中形成蜂窝状孔隙结构，且孔隙直径为50~100nm，孔隙间距为100~200nm，所述Si纳米层由共聚焦孪生Si靶通过中频电源溅射镀覆在不锈钢基底表面上，形成中频孪生溅射形态。本实用新型利用表面等离子光子学的原理，通过将超薄吸收膜内的强干涉与局部表面等离激元共振结合起来，利用表面特殊的纳米结构可导致局域光电场显著增强，产生奇异的光学特性，在300‑800nm波长范围内吸收率接近100%。

主权项

1.一种区域表面等离子体增强超薄宽带复合吸收膜，其特征在于：由上而下依次为Ag+SiO2纳米层、SiO2纳米层、Ag纳米层和Si纳米层，其中，所述Ag+SiO2纳米层中，Ag纳米颗粒随机嵌入电介质SiO2纳米膜层中，在电介质SiO2纳米膜层中形成蜂窝状孔隙结构，且孔隙直径为50~100nm，各孔隙间间距为100~200nm，所述Si纳米层由共聚焦孪生Si靶通过中频电源溅射镀覆在不锈钢基底表面上，形成中频孪生溅射形态。