[发明专利]在叉指换能器制造过程中提高曝光效果的方法和叉指换能器的制造方法在审
| 申请号： | 201811590956.6 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109842393A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 朱庆芳;邹福松;杨濬哲;谢祥政;尚荣耀 | 申请（专利权）人： | 泉州三安半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 杨依展;张迪 |
| 地址： | 362343 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种在叉指换能器制造过程中提高曝光效果的方法：在衬底上镀一层铝膜，在铝膜的上表面再镀一层防反射膜。本发明还提供了一种叉指换能器的制造方法，包括如下步骤：1)在衬底表面镀一层铝膜；2)在铝膜的上表面镀一层防反光膜；3)在防反光膜的上表面涂抹光刻胶，并进行曝光形成图案；4)对暴露在图案中的防反光膜和铝膜进行蚀刻；5)去除光刻胶和防反光膜。本发明提供了一种在叉指换能器制造过程中提高曝光效果的方法和叉指换能器的制造方法，有效解决铝膜反光带来的曝光图案不稳定的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 叉指换能器 铝膜 防反光膜 曝光效果 制造过程 上表面 光刻胶 蚀刻 制造 图案 衬底表面 防反射膜 曝光图案 有效解决 衬底 反光 去除 涂抹 曝光 暴露 | ||
【主权项】：
1.一种在叉指换能器制造过程中提高曝光效果的方法，其特征在于：在衬底上镀一层铝膜，在铝膜的上表面再镀一层防反射膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于泉州三安半导体科技有限公司，未经泉州三安半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811590956.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
