[发明专利]原子层沉积设备

摘要

本发明公开了一种原子层沉积设备，包括反应腔室和连接反应腔室的主进气管道、分别接入主进气管道的供给源瓶和回收源瓶、以及用于控制供给源瓶和回收源瓶的温度的控制装置，主进气管道开启时，供给源瓶提供第一前驱体，载气携带第一前驱体经主进气管道通入反应腔室；主进气管道关闭时，供给源瓶和回收源瓶经回收管路连通，回收源瓶对供给源瓶提供的第一前驱体进行冷凝回收，实现前驱体的回收和储存。

主权项

1.一种原子层沉积设备，其特征在于，包括：反应腔室和连接所述反应腔室的主进气管道；供给源瓶和回收源瓶，分别接入所述主进气管道；以及控制装置，用于控制所述供给源瓶和所述回收源瓶的温度，其中，所述主进气管道开启时，载气携带第一前驱体经所述主进气管道通入所述反应腔室，所述供给源瓶提供所述第一前驱体，所述主进气管道关闭时，所述供给源瓶和所述回收源瓶经回收管路连通，所述回收源瓶对所述供给源瓶提供的所述第一前驱体进行冷凝回收。