[发明专利]一种高频超导腔用超高真空热处理炉在审
| 申请号： | 201811567150.5 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109594057A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 郑承业 | 申请（专利权）人： | 深圳四维高科技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高频超导腔用超高真空热处理炉，包括机架，以及安装于机架上的离子泵，离子泵包括离子泵外壳，外壳内部具有一个加热内胆，加热内胆与外壳之间形成一个外真空腔室，加热内胆内部形成一个内真空腔室，外壳的顶部设置一个工件输送管，工件输送管与内真空腔室相通，工件自工件输送管输送至内真空腔室中，所述外真空腔室内安装有加热器以及热屏蔽层，所述热屏蔽层环绕着外真空腔室内壁一圈设置，加热器对加热内胆进行加热。本发明为双真空热处理装置，将加热器，热屏蔽等布置在炉腔外，从而使炉内除了炉壳的金属材料外，无其它物质，为超高真空和无污染源的环境提供了实现的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 加热内胆 真空腔室 加热器 超高真空 工件输送 离子泵 热处理炉 热屏蔽层 超导腔 真空腔 热处理装置 金属材料 顶部设置 环境提供 室内安装 外壳内部 热屏蔽 室内壁 双真空 炉壳 炉内 炉腔 加热 污染源 环绕 相通 | ||
【主权项】：
1.一种高频超导腔用超高真空热处理炉，其特征在于：包括机架，以及安装于机架上的离子泵，离子泵包括离子泵外壳，外壳内部具有一个加热内胆，加热内胆与外壳之间形成一个外真空腔室，加热内胆内部形成一个内真空腔室，外壳的顶部设置一个工件输送管，工件输送管与内真空腔室相通，工件自工件输送管输送至内真空腔室中，所述外真空腔室内安装有加热器以及热屏蔽层，所述热屏蔽层环绕着外真空腔室内壁一圈设置，加热器对加热内胆进行加热。
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- 王业亮;李林飞;王裕祺;高鸿钧 - 中国科学院物理研究所
- 2014-08-28 - 2018-10-12 - C23C14/58
- 本发明公开了一种二硒化铂二维晶态材料及其制备方法，其步骤包括：1)在真空环境下，将适量高纯度硒蒸发沉积到过渡金属铂基底上；2)进行退火处理，以使覆盖在所述基底表面的硒原子和基底铂原子发生相互作用，形成硒‑铂‑硒三明治排布的二维有序晶态膜状结构，从而获得二硒化铂晶态材料。这种无机二维晶态材料是过渡金属二硫属化合物家族的新成员，拓展了非碳基二维晶体材料的研究领域，在未来信息电子学及器件开发研究方面具有广泛的应用潜力。本发明通过分子束外延方法生长出了大面积高质量的二硒化铂二维晶态材料，便于进一步研究二硒化铂晶态材料的电子性质及相关应用开发。
- 一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法及其装置-201610100864.X
- 吴慎将;苏俊宏;李党娟;徐均琪;葛锦蔓;汪桂霞;时凯 - 西安工业大学
- 2016-02-24 - 2018-09-14 - C23C14/58
- 本发明涉及一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法及其装置。本发明的目的是要在不影响DLC薄膜和介质薄膜的任何光学常数和物理性能的基础上，有效提高DLC薄膜和介质薄膜薄膜的抗激光损伤能力。所提供的技术方案是：一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法，是在DLC及介质薄膜的表面形成具有闭环的磁通路，且使闭环的磁通量具有最大的梯度。所提供的装置包括导磁外框，在外框内设置有一对永磁铁，第一永磁铁和第二永磁铁，第一永磁铁和第二永磁铁的距离可调。利用本发明的方法，对于DLC薄膜可以将损伤阈值从0.57 J/cm2提高到1.23 J/cm2。对于介质薄膜，可以使激光损伤面积减少50%左右。
- 一种薄膜转移装置-201721698535.6
- 李晓东;沈雷 - 苏州矩阵光电有限公司
- 2017-12-08 - 2018-08-31 - C23C14/58
- 本实用新型公开了一种薄膜转移装置，包括箱体，设置在箱体内部的第一载台的台面与第二载台的台面沿第一方向相对设置，第一载台的台面用于承载第一载体、粘附剂层，第二载台的台面用于承载第二载体、待转移薄膜；第一载台和/或第二载台沿第一方向可升降；真空泵，用于为箱体提供真空环境。通过覆压方式将待转移薄膜转移至待转移载体，用真空泵提供负压环境，抽去了粘附剂中的气体，转移后的薄膜和粘附剂之间没有气泡存在，不但解决了因粘附剂气泡导致的薄膜内应力影响器件性能的问题，提高了产品良率；同时，负压环境下，粘附剂层能够充分与两侧的元件接触，密实度大，粘合速度快，提高了薄膜转移生产的效率。
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