[发明专利]提高抗静电击穿能力的谐振器及滤波器和电子设备有效
| 申请号： | 201811551326.8 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111342809B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杨清瑞;庞慰;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜体声波谐振器，包括：基底，设置有构成声学镜的空腔；和由顶电极、压电层和底电极构成的三明治结构，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；所述压电层在所述有效区域之外具有穿过压电层的释放孔；所述基底还设置有与所述空腔相通的释放通道，所述释放孔在所述基底的厚度方向上位于对应释放通道上方而与对应释放通道相通；且所述释放孔沿释放通道到底电极的延伸距离不小于6μm。本发明也涉及一种具有该谐振器的滤波器以及具有该滤波器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 抗静电 击穿 能力 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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