[发明专利]一种适用于砷化镓晶片抛光的抛光药液在审

专利信息
申请号: 201811517792.4 申请日: 2018-12-12
公开(公告)号: CN109370444A 公开(公告)日: 2019-02-22
发明(设计)人: 李穆朗;工东兴;兰天平;边义午;张雁敏;曹志颖 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
主分类号: C09G1/18 分类号: C09G1/18
代理公司: 天津中环专利商标代理有限公司 12105 代理人: 王凤英
地址: 300220*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种适用于砷化镓晶片抛光的抛光药液。抛光药液是将抛光液溶于去离子水,抛光药液中抛光液含量为5‑40wt%;抛光液按照重量百分比由以下组分组成:氧化剂:1‑25;碳酸氢化物:4‑20;氧化催化剂:4‑20;表面活性剂:1‑15;碱性溶胶:50‑90。在相同条件下,使用氧化催化剂,抛光药液消耗更完全,减少氧化剂的流失,提高抛光药液的使用率;抛光药液腐蚀砷化镓晶片会更加均匀,不会造成抛光效果不一致的问题;使用碳酸氢化物,抛光药液PH值更加稳定,从而使化学反应更加稳定、持久;抛光药液原材料廉价易购得,从而降低了抛光药液的成本,制备方法简便快捷,具有广阔的市场价值。
搜索关键词: 抛光药液 砷化镓晶片 抛光液 氧化剂 碳酸氢化物 氧化催化剂 抛光 表面活性剂 重量百分比 化学反应 碱性溶胶 抛光效果 去离子水 不一致 使用率 制备 腐蚀 消耗
【主权项】:
1.一种适用于砷化镓晶片抛光的抛光药液,其特征在于,所述抛光药液是将抛光液溶于去离子水,抛光药液中抛光液含量为5‑40wt%;抛光液按照重量百分比由以下组分组成:氧化剂:1‑25;碳酸氢化物:4‑20;氧化催化剂:4‑20;表面活性剂:1‑15;碱性溶胶:50‑90。
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  • 一种耐久性的汽车抛光液-201510343401.1
  • 吕玲霞 - 青岛文晟汽车零部件有限公司
  • 2015-06-19 - 2015-10-07 - C09G1/18
  • 一种耐久性的汽车抛光液,其由以下重量份数的原料制成:亚麻油4-9份,分散剂3-8份,烷基琥珀酸酯磺酸钠4-11份,三油酸牛脂二胺3.5-7份,三乙醇胺2.5-7份,乙酸乙酯1-5份,蔗糖硬脂酸酯1-5份,水溶性硅油2.5-7份,磷酸三钠十二水合物1.4-5份,硬脂酰二乙醇胺3-9份,二甲苯磺酸钠2-7份,十六烷基三甲基氯化铵1.4-5份,葡萄糖酸钠12-15份,二羧甲基丙氨酸三钠3-10份,偏硼酸钠5-11份。本发明的有益效果是:本发明的汽车抛光液,耐久性好,能够很好的提高抛光的效果,提高汽车亮度;并且使用方便。
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