[发明专利]一种大热场单晶炉在审
申请号: | 201811458849.8 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109537046A | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 李德建;申朝伦;张志耀 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙新能源有限责任公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 李冉 |
地址: | 054000 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种大热场单晶炉,包括单晶炉主体,单晶炉主体底部设置有电熔炉,电熔炉内设有坩埚槽,坩埚槽内设置有石英坩埚;单晶炉主体上端设置有提拉杆,且提拉杆在驱动单元的带动下在单晶炉主体内上下移动;单晶炉主体内部设置有保温层,保温层厚度为48‑50mm;石英坩埚的直径为660‑730mm,高度为500‑520mm;本发明通过优化单晶炉内部部结构部件的尺寸参数,在有限的炉体空间内,增加石英坩埚的直径,同步缩减保温部件的厚度,提高单晶的拉制长度,起到单产提升的目的。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 石英坩埚 保温层 电熔炉 提拉杆 坩埚槽 大热 保温部件 尺寸参数 结构部件 炉体空间 驱动单元 上下移动 主体内部 拉制 上端 单晶 优化 | ||
【主权项】:
1.一种大热场单晶炉,包括单晶炉主体(1),其特征在于,单晶炉主体(1)底部设置有电熔炉(2),电熔炉(2)内设有坩埚槽,坩埚槽内设置有石英坩埚(3);单晶炉主体(1)上端设置有提拉杆(4),且提拉杆(4)在驱动单元的带动下在单晶炉主体(1)内上下移动;单晶炉主体(1)内部设置有保温层(5),保温层(5)厚度为48‑50mm;石英坩埚(3)的直径为660‑730mm,高度为500‑520mm。
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