[发明专利]一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置

摘要

本发明涉及晶圆生产制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其可以使多组晶圆放置规整，防止多组晶圆相互叠放，使化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液接触反应更加充分，提高化学刻蚀效果；其使用后的化学溶液可以进行收集储存处理，降低使用局限性；包括过渡箱、底板、顶板、左支撑板、右支撑板、左弧形板、右弧形板、左放置板、右放置板、前支撑轴、后支撑轴、带动轴、上支撑轴、左卡板、右卡板、左安装板、右安装板、两组左安装螺栓、两组右安装螺栓、收集箱、两组左滑轮、两组右滑轮、左滑轨、右滑轨、固定环、左销杆、右销杆、固定座、左弹簧和右弹簧。

主权项

1.一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，包括过渡箱（1）、底板（2）、顶板（3）、左支撑板（4）和右支撑板，左支撑板（4）和右支撑板的底端分别与底板（2）顶端的左侧和右侧连接，并且左支撑板（4）和右支撑板的顶端分别与顶板（3）帝都的左侧和右侧连接，过渡箱（1）的顶端与顶板（3）的底端连接，并且过渡箱（1）的左端与左支撑板（4）的右端上侧连接，过渡箱（1）的右端与右支撑板的左端上侧连接，过渡箱（1）的顶端连通设置有输送管，并且输送管上连通设置有增压泵，增压泵的底端与顶板（3）的顶端左侧连接，过渡箱（1）底端横向连通设置有多组出液通孔，并且多组出液通孔的底部输出端均连通设置有出液喷嘴（5），所述左支撑板（4）和右支撑板的之间横向设置有放置网板（6）；其特征在于，包括左弧形板（7）、右弧形板、左放置板（8）、右放置板、前支撑轴（9）、后支撑轴、带动轴（10）、上支撑轴（11）、左卡板（12）、右卡板、左安装板（13）、右安装板、两组左安装螺栓（14）和两组右安装螺栓，所述弧形板的左端与所述左支撑板（4）的右端中部连接，并且所述右弧形板的右端与所述右支撑板的左端中部连接，所述左弧形板（7）右端的下侧中部设置有左带动槽，并且左带动槽内部固定安装有左带动滚珠轴承，所述带动轴（10）的左端插入并固定安装至左带动滚珠轴承内部，并且所述带动轴（10）的右端自右弧形板的左端横向依次穿过右弧形板和右支撑板内部并伸出至右支撑板的右端外界，带动轴（10）的右端设置有带动电机，所述左弧形板（7）右端的上前侧和上后侧分别设置有左前固定槽和左后固定槽，并且左前固定槽和左后固定槽内部分别设置有左前滚珠轴承和左后滚珠轴承，所述右弧形板左端的上前侧和上后侧分别设置有右前固定槽和右后固定槽，并且右前固定槽和右后固定槽内部分别设置有右前滚珠轴承和右后滚珠轴承，所述前支撑轴（9）的左端插入并固定安装至左前滚珠轴承内部，并且前支撑轴（9）的右端横向插入并固定安装至右前滚珠轴承内部，所述后支撑轴的左端插入并固定安装至左后滚珠轴承内部，并且所述后支撑轴的右端插入并固定安装至右后滚珠轴承内部，所述左安装板（13）位于所述左弧形板（7）的正上方，并且左安装板（13）的左端与所述左支撑板（4）的右端连接，所述右安装板位于所述右弧形板的正上方，并且右安装板的右端与所述右支撑板的左端连接，左安装板（13）的顶端设置有左安装槽，并且所述右安装板的顶端设置有右安装槽，所述左安装槽和右安装槽的底端内壁均设置为下半圆形结构，所述左卡板（12）和右卡板的底端均设置为上半圆结构，所述左放置板（8）的底端中部与所述左卡板（12）的顶端连接，并且左放置板（8）顶端的前侧和后侧均设置有上下贯穿的左安装通孔，所述左安装板（13）顶端的前侧和后侧均设置有左安装螺纹孔，所述左卡板（12）的底端可滑动插入至左安装槽内部，并且所述两组左安装螺栓（14）的底端分别穿过两组左安装通孔内部并伸出至左放置板（8）的底端外界，所述两组左安装螺栓（14）的底端分别可插入并螺装至两组左安装螺纹孔内部，所述右放置板的底端中部与所述右卡板的顶端连接，并且右放置板顶端的前侧和后侧均设置有上下贯穿的右安装通孔，所述右安装板顶端的前侧和后侧均设置有右安装螺纹孔，所述右卡板的底端可滑动插入至右安装槽内部，并且所述两组右安装螺栓的底端分别穿过两组右安装通孔内部并伸出至右放置板的底端外界，所述两组右安装螺栓的底端分别可插入并螺装至两组右安装螺纹孔内部，所述带动轴（10）上均布固定套装设置有多组带动凹型轮，并且所述前支撑轴（9）上对应均布固定套装设置有多组前凹型轮，所述后支撑轴上对应均布固定套装设置有多组后凹型轮，并且所述上支撑轴（11）上对应均布固定套装设置有多组上凹型轮，并且上支撑轴（11）的左端安装有左上滚珠轴承，上支撑轴（11）的右端安装有右上滚珠轴承；还包括收集箱（15）、两组左滑轮（16）、两组右滑轮、左滑轨（17）、右滑轨、固定环（18）、左销杆（19）、右销杆、固定座（20）、左弹簧（21）和右弹簧，所述两组左滑轮（16）的顶端分别与所述收集箱（15）底端外壁的左前侧和左后侧连接，并且两组右滑轮的顶端分别与所述收集箱（15）底端外壁的右前侧和右后侧连接，所述收集箱（15）的顶端与所述放置网板（6）的底端接触，并且收集箱（15）的顶端设置有收集槽，所述左滑轨（17）位于所述左支撑板（4）的右侧，并且所述右滑轨位于所述右支撑板的左侧，所述左滑轨（17）前后方向上固定安装在所述底板（2）的顶端左侧，并且所述右滑轨前后方向上固定安装在所述底板（2）的顶端右侧，所述两组左滑轮（16）与所述左滑轨（17）内部可滑动配合，并且所述两组右滑轮与所述右滑轨内部可滑动配合，所述固定座（20）的底端与所述底板（2）的顶端中部前侧连接，并且固定座（20）的顶端设置有前后贯穿的固定通槽，固定座（20）的左端和右端分别横向设置有左销孔和右销孔，所述左销孔和右销孔均与所述固定通槽相通，所述左弹簧（21）的右端与所述固定座（20）的左端连接，并且所述左弹簧（21）的内部与所述左销孔的内部横向同心设置，所述左销杆（19）的右端自左弹簧（21）的左端依次穿过左弹簧（21）和左销孔的内部并伸入至固定通槽内部，左销杆（19）的左端设置有左拉板，并且左拉板的右端与所弹簧的左端连接，所述右弹簧的左端与所述固定座（20）的右端连接，并且所述右弹簧的内部与所述右销孔的内部横向同心设置，所述右销杆的左端自右弹簧的右端依次穿过右弹簧和右销孔的内部并伸入至固定通槽内部，右销杆的右端设置有右拉板，并且右拉板的左端与所述右弹簧的右端连接，所述固定环（18）的顶端与所述收集箱（15）的底端中部前侧连接。