[发明专利]成膜装置及成膜方法、以及太阳能电池的制造方法

摘要

提供一种在使用多个基板保持器的穿过型的成膜装置中、能够在基板的两面上效率良好地形成优质的透明导电氧化物层、并且能够实现装置的小型化及结构的简洁化的异质结型太阳能电池的制造技术。在形成单一的真空环境的真空槽内，设置有第1成膜区域和第2成膜区域，所述第1成膜区域具有溅镀机构，其在被保持在基板保持器上的基板的第1面上进行第1透明导电氧化物层的成膜，所述第2成膜区域具有反应性等离子蒸镀机构，其在被保持在基板保持器上的基板的第2面上进行第2透明导电氧化物层的成膜。将多个基板保持器沿着相对于竖直面的投影形状被形成为连续的环状的输送路径输送，使其穿过第1及第2成膜区域，在基板的两面上形成透明导电氧化物层。

主权项

1.一种成膜装置，其特征在于，具备：真空槽，形成单一的真空环境；第1成膜区域，被设置在前述真空槽内，具有溅镀机构，该溅镀机构在被基板保持器保持的基板的第1面上进行第1透明导电氧化物层的成膜；第2成膜区域，被设置在前述真空槽内，具有反应性等离子蒸镀机构，该反应性等离子蒸镀机构在被前述基板保持器保持的前述基板的第2面上进行第2透明导电氧化物层的成膜；输送路径，以相对于竖直面的投影形状为连续的环状的方式形成，输送前述基板保持器；和基板保持器输送机构，将具有第1及第2被驱动部的多个前述基板保持器沿着前述输送路径输送；前述输送路径具有第1输送部、第2输送部和输送折回部，所述第1输送部将被导入的前述基板保持器在设为水平的状态下沿着前述输送路径向第1输送方向输送，所述第2输送部将前述基板保持器在设为水平的状态下沿着前述输送路径向与前述第1输送方向相反方向的第2输送方向输送并排出，所述输送折回部将前述基板保持器从前述第1输送部朝向前述第2输送部折回而输送，前述输送路径构成为，前述第1输送部穿过前述第1及第2成膜区域中的一方，并且前述第2输送部穿过前述第1及第2成膜区域中的另一方；前述基板保持器输送机构具有多个第1驱动部，所述多个第1驱动部与前述基板保持器的第1被驱动部接触，将该基板保持器沿着前述输送路径驱动；在前述输送路径的输送折回部的附近，设置有方向转换机构，所述方向转换机构具有多个第2驱动部和第1及第2方向转换路径，所述多个第2驱动部与前述基板保持器的第2被驱动部接触而将该基板保持器向前述第1及第2输送方向分别驱动，所述第1及第2方向转换路径用来将前述基板保持器的第1及第2被驱动部分别引导并输送，以便将该基板保持器从前述第1输送方向向前述第2输送方向方向转换；构成为，使前述基板保持器输送机构的第1驱动部和前述方向转换机构的第2驱动部同步动作，将前述基板保持器的第1及第2被驱动部沿着前述方向转换机构的第1及第2方向转换路径分别引导并输送，由此将前述基板保持器在维持着上下关系的状态下从前述输送路径的第1输送部向第2输送部移交。