[发明专利]一种耐高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种耐高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，包括现有金属基底，其特征在于：在金属基底上，从下到上还分别有三层：高红外反射层、吸收层和减反射层；所述高红外反射层为Al、Au、Ag、Ti、Cr、Ni任一种金属的涂层；吸收层自下而上依次包括高折射率吸收层TiCrN膜和低折射率吸收层TiCrNxOy膜；减反射层自下而上依次包括Cr2O3膜和SiO2膜，采用磁控溅射法进行镀膜。本发明的有益效果：1.本发明制得的涂层，具有吸收效率高、发射率低、热稳定性好的特点；2.太阳光谱吸收率α与发射率ε(T)之比高，适合350℃以上的高温应用；3.制作工艺简便。

主权项

1.一种耐高温太阳能选择性吸收涂层，包括现有金属基底，其特征在于：在金属基底上，从下到上还分别有三层：高红外反射层、吸收层和减反射层；所述高红外反射层为Al、Au、Ag、Ti、Cr、Ni任一种金属的涂层，厚度为20‑40nm；所述吸收层自下而上依次包括高折射率吸收层TiCrN膜和低折射率吸收层TiCrNxOy膜,其中TiCrN膜的厚度为70‑100nm，TiCrNxOy膜的厚度为80‑100nm；所述减反射层自下而上依次包括Cr2O3膜和SiO2膜，其中Cr2O3膜的厚度为10‑20nm，SiO2膜的厚度为20‑30nm。