[发明专利]一种塑性提升的纳米晶薄膜制备方法有效
| 申请号： | 201810326643.3 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN108468032B | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 黄平;朱婧;王飞;徐可为 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种塑性提升的纳米晶薄膜制备方法，包括：采用磁控溅射法，在纳米晶中引入非晶层，形成纳米晶/非晶层交替的多层结构，获得塑性提升的纳米晶薄膜。本发明采用磁控溅射，在基底上交替沉积纳米晶和较薄的非晶，形成多层结构薄膜，其制备出的纳米晶薄膜在具有高强度的同时，兼具了更好的塑性，力学性能更加优异；薄膜结构致密，界面清晰，可以很容易实现单层厚度尺寸的调控，为纳米晶薄膜塑性的提升提供了新的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 塑性 提升 纳米 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种塑性提升的纳米晶薄膜制备方法，其特征在于，包括：采用磁控溅射法，在纳米晶中引入非晶层，形成纳米晶亚层/非晶亚层交替的多层结构，获得塑性提升的纳米晶薄膜。
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