[发明专利]AZO透明导电薄膜及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201810319725.5 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN108493299A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 刘荣跃;丁庆;冯军正;杨旻蔚;张翠;许奔;孙竹 | 申请（专利权）人： | 深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 官建红 |
| 地址： | 518102 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种AZO透明导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：提供衬底，对所述衬底进行表面清洁处理；提供氧化锌种子溶液，在所述衬底上沉积所述氧化锌种子溶液，制备结合在所述衬底表面的氧化锌种子层；提供氧化锌沉积溶液，将沉积好氧化锌种子层的衬底置于所述氧化锌沉积溶液中，使所述氧化锌沉积溶液浸没所述衬底，且所述衬底中沉积有氧化锌种子层的表面不贴壁，在加热的条件下，在所述氧化锌沉积溶液中连续引入铝离子并搅拌处理，在所述氧化锌种子层表面生长制备AZO预制薄膜；对所述AZO预制薄膜进行紫外照射处理，制备得到AZO透明导电薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 衬底 氧化锌种子层 沉积溶液 制备 透明导电薄膜 沉积 种子溶液 预制 薄膜 制备方法和应用 紫外照射处理 表面清洁 表面生长 衬底表面 铝离子 浸没 贴壁 加热 引入 | ||
【主权项】：
1.一种AZO透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供衬底，对所述衬底进行表面清洁处理；提供氧化锌种子溶液，在所述衬底上沉积所述氧化锌种子溶液，制备结合在所述衬底表面的氧化锌种子层；提供氧化锌沉积溶液，将沉积好氧化锌种子层的衬底置于所述氧化锌沉积溶液中，使所述氧化锌沉积溶液浸没所述衬底，且所述衬底中沉积有氧化锌种子层的表面不贴壁，在加热的条件下，在所述氧化锌沉积溶液中连续引入铝离子并搅拌处理，在所述氧化锌种子层表面生长制备AZO预制薄膜；对所述AZO预制薄膜进行紫外照射处理，制备得到AZO透明导电薄膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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