[发明专利]MEMS声换能器和提供MEMS声换能器的方法有效
| 申请号： | 201810201438.4 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108569673B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | S·巴曾 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B3/00;B81C1/00;H04R1/00;H04R7/16 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;张鹏 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS声换能器和提供MEMS声换能器的方法。该MEMS声换能器包括第一背板和第二背板以及布置在第一背板和第二背板之间且由第一背板和第二背板之间的边缘固定部保持的膜。MEMS声换能器包括夹紧结构，夹紧结构被构造成，在施加有在工作状态下作用的静电力时，为膜在第一背板和第二背板之间并且与边缘固定部间隔地提供固定，并且在不存在静电力时解除所述固定。 | ||
| 搜索关键词： | mems 声换能器 提供 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS声换能器(10；20；40)，包括：第一背板(12a)和第二背板(12b)；膜(14)，所述膜被布置在所述第一背板(12a)和所述第二背板(12b)之间，并且由所述第一背板(12a)和所述第二背板(12b)之间的边缘固定部保持；夹紧结构(38)，所述夹紧结构被构造成，在施加有在工作状态下作用的静电力(FES)时，为所述膜(14)在所述第一背板(12a)和所述第二背板(12b)之间并且与所述边缘固定部(16)间隔地提供固定，并且在不存在所述静电力(FES)时解除所述固定。
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