[实用新型]气相沉积炉有效
| 申请号： | 201721832487.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN207684897U | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 朱文博;银波;范协诚;王文;夏高强;薛明华 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/113 | 分类号： | C01B33/113 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气相沉积炉，包括炉体，还包括炉体内设置的：加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物变成气体；沉积腔室，设置于加热腔室上方与加热腔室密封连接，且与加热腔室通过连通通道连通，沉积腔室内设置有可转动的沉积机构，沉积机构用于沉积产物，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛；接收机构，用于接收从沉积机构上落下的沉积产物，连通通道穿过接收机构伸入到沉积腔室。气相沉积炉中的沉积盘可旋转，从而使得沉积机构上沉积的产物均匀分布，提高了沉积产物的一致性。连通通道穿过接收机构伸入到沉积腔室，可以避免现有技术中沉积产物从连通通道与接收机构之间的空隙落入到加热腔室内。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积腔室 沉积 沉积产物 加热腔室 接收机构 连通通道 气相沉积炉 沉积腔 室内 伸入 反应生成产物 本实用新型 穿过 加热原料 开口调节 密封连接 沉积炉 沉积盘 加热腔 可旋转 可转动 炉体 落下 连通 开口 体内 | ||
【主权项】：
1.一种气相沉积炉，包括炉体，其特征在于，还包括炉体内设置的：加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物变成气体；沉积腔室，设置于加热腔室上方与加热腔室密封连接，且与加热腔室通过连通通道连通，沉积腔室内设置有可转动的沉积机构，沉积机构用于沉积产物，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛；接收机构，用于接收从沉积机构上落下的沉积产物，连通通道穿过接收机构伸入到沉积腔室。
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