[实用新型]一种掺杂蒸镀源喷嘴结构有效
| 申请号： | 201721486236.6 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN207596943U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 何文双;吴炜钦;罗武峰;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 章兰芳 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种掺杂蒸镀源喷嘴结构，所述掺杂蒸镀源喷嘴设置于掺杂蒸镀源上，在所述掺杂蒸镀源两侧各设有主体蒸镀源，所述主体蒸镀源上设有主体蒸镀源喷嘴，位于两个所述主体蒸镀源喷嘴中间的掺杂蒸镀源喷嘴设有至少两个喷嘴支管，所述喷嘴支管中的至少两个分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。本实用新型改造了掺杂蒸镀源的喷嘴结构，使得掺杂蒸镀源喷嘴由向上方喷出掺杂材料改进为可向左右方向喷出掺杂材料，提高左右两侧的主体蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料含量，同时降低掺杂蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料含量，使得主体蒸镀源喷嘴与掺杂蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料与主体材料含量一致，从而提升掺杂均匀性，提高器件产品性能。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀源喷嘴 掺杂 掺杂材料 蒸镀源 本实用新型 喷嘴 喷出 支管 掺杂均匀性 喷嘴结构 器件产品 主体材料 左右两侧 改进 改造 | ||
【主权项】：
1.一种掺杂蒸镀源喷嘴结构，所述掺杂蒸镀源喷嘴设置于掺杂蒸镀源上，在所述掺杂蒸镀源两侧各设有主体蒸镀源，所述主体蒸镀源上设有主体蒸镀源喷嘴，其特征在于：位于两个所述主体蒸镀源喷嘴中间的掺杂蒸镀源喷嘴设有至少两个喷嘴支管，所述喷嘴支管中的至少两个分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。
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