[实用新型]一种MEMS芯片有效
| 申请号： | 201720748389.7 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN207061862U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 李江龙;郝红蕾;王宇;张鑫鑫 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS芯片，包括衬底，以及支撑在衬底上的极板，所述衬底与所述极板之间形成容纳空间，还包括被自由设置在所述容纳空间中的敏感膜，所述敏感膜与极板构成了电容器结构；在所述容纳空间内设置有限位柱，所述限位柱穿过所述敏感膜，以限定所述敏感膜的振动方向。本实用新型的MEMS芯片，通过限位柱的设置，使敏感膜可以沿限位柱进行上下振动，并且限位柱能有效阻止敏感膜在振动过程中的横向摆动，防止敏感膜因振幅过大而发生扭曲，提高了MEMS芯片的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 芯片 | ||
【主权项】：
一种MEMS芯片，其特征在于，包括衬底(11)，以及支撑在衬底(11)上的极板(14)，所述衬底(11)与所述极板(14)之间形成容纳空间，还包括被自由设置在所述容纳空间中的敏感膜(13)，所述敏感膜(13)与极板(14)构成了电容器结构；在所述容纳空间内设置有限位柱(17)，所述限位柱(17)穿过所述敏感膜(13)，以限定所述敏感膜(13)的振动方向。
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