[实用新型]一种半导体单晶碳化硅微波烧结炉

摘要

本实用新型公开了一种半导体单晶碳化硅微波烧结炉，包括炉体和炉盖，炉体和炉盖之间形成加热腔，加热腔内活动设置有陶瓷材质的压力反应罐，压力反应罐包括罐体和罐盖，罐盖通过设置在罐体口部两侧的限位螺丝活动卡入罐体的口部，压力反应罐的表面涂覆有谐振型吸波材料层，炉体的壁部环绕设置有若干第一加热器，炉盖底部中心设有第二加热器，第一加热器与第二加热器均为磁控管，磁控管与同一变频式微波磁控管电源并联连接，压力反应罐中心径向贯穿设有加热通道，炉盖下方的磁控管活动嵌入加热通道内部。本实用新型的半导体单晶碳化硅微波烧结炉具有加热速度快、控温精准和加热均匀性好的特点。

主权项

一种半导体单晶碳化硅微波烧结炉，包括炉体（1）和炉盖（2），所述炉体（1）和炉盖（2）之间形成加热腔，所述加热腔内活动设置有陶瓷材质的压力反应罐（3），所述压力反应罐（3）包括罐体（17）和罐盖（8），所述罐盖（8）通过设置在罐体（17）口部两侧的限位螺丝（9）活动卡入罐体（17）的口部，其特征在于：所述压力反应罐（3）的表面涂覆有谐振型吸波材料层，所述炉体（1）的壁部环绕设置有若干第一加热器（13），所述炉盖（2）底部中心设有第二加热器（7），所述第一加热器（13）与所述第二加热器（7）均为磁控管，所述磁控管与同一变频式微波磁控管电源并联连接，所述压力反应罐（3）中心径向贯穿设有加热通道（10），所述炉盖（2）下方的磁控管活动嵌入所述加热通道（10）内部；所述变频式微波磁控管电源包括变频器、变压器和磁控管供电电路；所述变频器的输出端与所述变压器的输入端连接，所述变压器的输出端与所述磁控管供电电路的输入端连接，所述磁控管供电路的输出端与所述变频器的反馈端连接。