[实用新型]板式等离子体气相沉积上下镀膜一体设备的石墨载板结构

摘要

本实用新型公开了板式等离子体气相沉积上下镀膜一体设备的石墨载板结构，它包括石墨边框，所述石墨边框均匀分割为多个载台单元，所述载台单元为镂空，其特征在于每个载台单元上纵向连接多组石墨档条。本实用新型获得效果电池片经过正背面镀膜后，电池片颜色一致，无绕镀、无支点印；主栅可采用低温银浆，减少高温对背面钝化的负面影响；实现电池片正、背面镀膜在同一台设备完成，降低设备采购成本、提高空间利用率、减少硅片流转过程中的不良产生。

主权项

一种板式等离子体气相沉积上下镀膜一体设备的石墨载板结构，它包括石墨边框(1)，所述石墨边框(1)均匀分割为多个载台单元(2)，所述载台单元(2)为镂空，其特征在于每个载台单元(2)上纵向连接多组石墨档条(3)。