[发明专利]一种薄膜晶体管膜层、制造方法和装置在审
| 申请号： | 201711447966.X | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN107978631A | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 陈龙龙;张建华;李痛快;李喜峰 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | H01L29/417 | 分类号： | H01L29/417;H01L29/423;H01L21/28 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人： | 王戈 |
| 地址： | 201900*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜晶体管膜层、制造方法和装置。所述膜层包括第一膜层、第二膜层、第三膜层、第五膜层、第一图案化膜层和第二图案化膜层，所述第一膜层上设置有所述第二膜层，所述第二膜层上设置有所述第三膜层，所述第三膜层上设置有所述第五膜层，所述第五膜层上设置有所述第一图案化膜层，所述第一图案化膜层上设置有所述第二图案化膜层。本发明的膜层结构、制造方法和装置中的第二图案化膜层在第一图案化膜层的基础上直接设置得到的，无需再通过旋涂光刻、湿刻等复杂的工艺，缩短了工艺周期、降低了制造薄膜晶体管成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管膜层，其特征在于，所述膜层包括：第一膜层、第二膜层、第三膜层、第五膜层、第一图案化膜层和第二图案化膜层，所述第一膜层上设置有所述第二膜层，所述第二膜层上设置有所述第三膜层，所述第三膜层上设置有所述第五膜层，所述第五膜层上设置有所述第一图案化膜层，所述第一图案化膜层上设置有所述第二图案化膜层。
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