[发明专利]气相沉积炉及生产氧化亚硅的方法在审
| 申请号： | 201711420170.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109956478A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 朱文博;银波;范协诚;王文;夏高强;薛明华 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/113 | 分类号： | C01B33/113;F27D7/06;F27D9/00;F27D11/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种气相沉积炉及生产氧化亚硅的方法，气相沉积炉包括炉体，还包括炉体内设置的：加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物变为气体；沉积腔室，与加热腔室密封连接，且与加热腔室连通，沉积腔室内设置有用于沉积产物的沉积机构，沉积机构为可转动的叶轮机构，沉积机构转动可将沉积于其上的沉积产物甩出，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛；接收机构，用于接收从沉积机构上甩出的沉积产物。本发明中的沉积机构转动可将沉积于其上的沉积产物甩出，大大提高了沉积产物的收集效率，沉积机构自身不断为新生成的沉积产物提供空白的沉积面，从而进一步提高了新生成的沉积产物的沉积效率。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 沉积产物 沉积腔室 加热腔室 甩出 气相沉积炉 机构转动 氧化亚硅 沉积腔 反应生成产物 室内 沉积效率 加热原料 接收机构 开口调节 密封连接 收集效率 叶轮机构 沉积炉 可转动 炉体 连通 开口 体内 生产 | ||
【主权项】：
1.一种气相沉积炉，包括炉体，其特征在于，还包括炉体内设置的：加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物变为气体；沉积腔室，与加热腔室密封连接，且与加热腔室连通，沉积腔室内设置有用于沉积产物的沉积机构，沉积机构为可转动的叶轮机构，沉积机构转动可将沉积于其上的沉积产物甩出，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛；接收机构，用于接收从沉积机构上甩出的沉积产物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新特能源股份有限公司，未经新特能源股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711420170.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：气相沉积炉及生产氧化亚硅的方法
- 下一篇：一种中空微球及其制备方法
