[发明专利]无电镀法在审
申请号: | 201711394877.3 | 申请日: | 2017-12-21 |
公开(公告)号: | CN108220929A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 羽切义幸 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
主分类号: | C23C18/26 | 分类号: | C23C18/26;H05K3/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;胡嘉倩 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: |
本发明的用于在衬底上进行无电镀的方法包含以下步骤:(a)使所述衬底与含有由以下通式(1)表示的化合物的组合物接触: |
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搜索关键词: | 烷基 个碳原子 衬底 无电镀 芳基 羟基 羧基 催化剂组合物 抗衡阴离子 烷基取代 无电镀法 氢原子 合成 | ||
【主权项】:
1.一种在衬底上进行无电镀的方法,包含以下步骤:(a)使所述衬底与含有以下的组合物接触:由以下通式(1)表示的化合物
其中R1是具有8到20个碳原子的烷基或具有5到14个碳原子的芳基,所述烷基或所述芳基可被羟基、羧基、卤素或具有1到4个碳原子的烷基取代,其中如果R1是芳基,那么所述芳基和其取代基的碳原子总数不小于6个,R2、R3和R4各自独立地是氢原子或具有1到4个碳原子的烷基,R2、R3和R4的烷基可被羟基、羧基或卤素取代,其中R2、R3和R4中的至少一个可与R1键合成环,所述环可含有一个或多个杂原子并且可被羟基、羧基、卤素或具有1到4个碳原子的烷基取代,所述环和其取代基的碳原子总数不小于8个,X是抗衡阴离子,并且所述由通式(1)表示的化合物的分子量不超过500;或由以下通式(2)表示的化合物:
其中R5是具有8到20个碳原子的烷基,所述烷基可被羟基、羧基、卤素或具有1到4个碳原子的烷基取代,R6和R7各自独立地是氢原子或具有1到4个碳原子的烷基,Y是卤素,并且所述由通式(2)表示的化合物的分子量不超过500;(b)使所述衬底与催化剂组合物接触;以及(c)使所述衬底与无电镀组合物接触。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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