[发明专利]双面镀膜生产线的镀膜装置有效
| 申请号： | 201711336448.0 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957766B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;祝海生;陈立;凌云;黄夏;孙桂红;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种双面镀膜生产线的镀膜装置，包括镀膜箱体和磁控溅射装置，所述磁控溅射装置设有箱体内，所述箱体内基片架位置设有磁铁，所述箱体的侧板设有磁场；所述箱体内还设有旋转组件，所述旋转组件包括旋转电机和旋转架，所述旋转架的两侧设有定位盘，所述定位盘通过电机驱动转动，所述旋转电机驱动旋转架转动，所述定位盘上设有凹槽，所述基片架设于凹槽内。本发明的双面镀膜生产线的镀膜装置，该镀膜装置结晶性能好，提高了溅射效果。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 镀膜 生产线 装置 | ||
【主权项】：
1.一种双面镀膜生产线的镀膜装置，其特征在于，包括镀膜箱体(1)和磁控溅射装置，所述磁控溅射装置设有箱体(1)内，所述箱体(1)内基片架位置设有磁铁，所述箱体(1)的侧板设有磁场(6)；所述箱体(1)内还设有旋转组件，所述旋转组件包括旋转电机(2)和旋转架(3)，所述旋转架(3)的两侧设有定位盘(4)，所述定位盘(4)通过电机驱动转动，所述旋转电机(2)驱动旋转架(3)转动，所述定位盘(4)上设有凹槽(41)，所述基片架设于凹槽(41)内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湘潭宏大真空技术股份有限公司，未经湘潭宏大真空技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711336448.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基板支架及成膜装置
- 下一篇：用于双面玻璃镀膜的传送旋转装置
- 同类专利
- 专利分类
